লাইনটিতে, আপনি জানেন কিভাবে এটি হয়: একটি সফট বেক ড্রিফট ±0.5°C এবং আপনি রেজিস্টে লাইনওয়েড ত্রুটি মুদ্রণ করছেন। ওভেনটি খুব ধীর, গরম প্লেটের জন্য স্থান দখল করে এবং তাপীয় বাজেট ইতিমধ্যে নির্ধারিত। তাই আমরা একটি কমপ্যাক্ট ইনফ্রারেড ড্রায়ার তৈরি করেছি যা IC-এর জন্য উৎস থেকে সেই ড্রিফট বন্ধ করে দেয়।
অভ্যন্তরে কি গুরুত্বপূর্ণ
আমরা একটি রিফ্লেক্টর-সংযুক্ত কোয়ার্টজ মডিউলের ভিতরে নিকট-ইনফ্রারেড (NIR) এমিটারগুলি চালাই, তাই তাপ সরাসরি যুক্ত হয় এবং সাব-সেকেন্ডে প্রতিক্রিয়া জানায়। বেক জোন জুড়ে, ওয়েফার-স্তরের একরূপতা ±0.1°C এ থাকে, এবং রান-টু-রান পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ±0.05°C এ থাকে। তাপমাত্রা সেটপয়েন্টগুলি ট্রেসযোগ্য, এবং প্রোফাইল দিন বা রাত, 24/7 ধারাবাহিক থাকে। ক্লিনরুম ফিট শুরু থেকেই অন্তর্ভুক্ত: উপকরণগুলি ক্লাস 1–100 পূরণ করে, সীলগুলি লো-আউটগ্যাসিং, এবং লামিনার ফ্লো এক্সহস্ট একটি স্থিতিশীল অবস্থায় পৌঁছালে কণা উৎপাদন শূন্যে রাখে।
লিথোগ্রাফিতে কেন এটি গুরুত্বপূর্ণ
কারণ লিথোগ্রাফিতে, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ হল সেই লিভার যা সমালোচনামূলক মাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং ত্রুটি কর্মক্ষমতা স্থানান্তর করে। এই ধরনের নিখুঁততার সাথে, আপনি সফট বেক এবং হার্ড বেককে আরও সংকীর্ণ তাপীয় উইন্ডোতে পরিচালনা করতে পারেন, ফটোরেজিস্ট পুনঃকাজ কমাতে পারেন এবং এক্সপোজার স্ট্যাককে ধারাবাহিক রাখতে পারেন।
ফুটপ্রিন্ট যথেষ্ট ছোট টাইট বেসিনের জন্য, এবং এটি বিদ্যমান ট্র্যাকে পরিষ্কারভাবে পুনঃস্থাপন করা যায়। শক্তির ব্যবহারও কম—NIR লক্ষ্যকে গরম করে, চেম্বারকে নয়—এবং দ্রুত র্যাম্প সাইকেল সময়কে সংক্ষিপ্ত করে অতিরিক্ত তাপীয় চাপ ছাড়াই ওয়েফারে প্রভাব ফেলে।
এখানে ব্যবহারিক বিস্তারিত
ড্রায়ারটি পরিষ্কারভাবে সংহত হয়, তবে আপনাকে একটি নিবেদিত এক্সহস্ট টাই-ইন এবং একটি স্থিতিশীল ভোল্টেজ ফিডের প্রয়োজন। ভোল্টেজ রিপল তাপমাত্রার ঝাঁকুনি হিসেবে উপস্থিত হতে পারে, তাই এটি সঠিকভাবে নিশ্চিত করুন। টুল যোগাযোগ এবং রেসিপি ম্যাপিংকে আগে থেকেই সমন্বয় করুন, এবং আপনার রেজিস্টের পুরুত্বের সাথে বেক সময় মেলান। একবার সেট হয়ে গেলে, এটি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয় শান্ত পূর্বাভাসের সাথে চলে।