Hören Sie auf, Ihre Maschine zu erhitzen – heizen Sie stattdessen die Wafer direkt.
Haben Sie schon einmal die Seite einer Trockenkammer berührt und dabei das Gefühl gehabt, als würde Ihre Haut verbrennen? Das ist „Hitzeüberlastung“.
Das passiert, weil die meisten Trocknungssysteme einfach Wärme überallhin strahlen lassen. Sie leiten Energie in die Kammer – doch da die Wärme nirgendwo hinkann, saugen die Innenwände sowie der Rahmen die Wärme wie ein Schwamm auf. Das ist eine Verschwendung von Energie – und außerdem eine echte Sicherheitsgefahr für die Menschen, die mit diesem Gerät arbeiten müssen.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Richtungsbehaftete Infrarotheizung.
Der Trick liegt darin, wohin die Energie fließt. Anstatt versuchen zu wollen, die ganze Luft im Raum zu erwärmen, nutzen Richtungsbehaftete Infrarotlampen elektromagnetische Strahlung, um die Substrate direkt zu erwärmen. Stellen Sie sich dazu eine Taschenlampe vor – anstelle einer Glühbirne. Durch den Einsatz von Reflektoren und bestimmten Wellenlängen können wir die Wärme genau dorthin lenken, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Wafer.
Das Ergebnis? Die Bauteile erhalten die nötige Wärme – während die Wände der Kammer weiterhin kühl bleiben.
Sicherheit und Kompaktheit
Man kann nicht einfach die leistungsstärksten Lampen verwenden. Man muss die Leistungsdichte mit der Kühlungskapazität in Einklang bringen. Hochleistungslichter bringen zwar schnell die gewünschte Temperatur, doch sie belasten den Stromkreis stark.
Wir halten die „heiße Zone“ klein. Da die Wärme so gezielt abgegeben wird, sind keine riesigen Isolierschichten mehr notwendig. Dadurch nimmt die Maschine weniger Platz ein.
Die Einschränkungen
Es handelt sich dabei zwar nicht um einen Zauberstab – doch die Richtungsbehaftete Heizung ist anspruchsvoll in der Anwendung. Wenn die Lampe nur wenige Millimeter daneben steht, kommt es zu ungleichmäßiger Trocknung der Wafer. Um das zu vermeiden, müssen die Befestigungselemente äußerst stabil sein – sie dürfen bei hohen Temperaturen nicht verbiegen.
Wir empfehlen außerdem den Einsatz eines geschlossenen PID-Reglers. Dieser sorgt dafür, dass die Temperatur konstant bleibt und das System während der Erwärmungsphase nicht über die gewünschte Temperatur hinausgeht.
Wenn man aufhört, Energie für die Erwärmung von Stahlplatten und Luft zu verschwenden, wird alles besser. Die Stromrechnung sinkt – und die Mitarbeiter müssen nicht mehr vor heißen Maschinen fliehen.