In der Fertigungshalle ist das Trocknen der Lötmaske keine eigenständige Schritte – es handelt sich dabei vielmehr um einen thermischen Prozess, der dazu dient, die Integrität der Strukturen auf dem Wafer nach der Lithografie beizubehalten. Wenn der Temperaturverlauf nicht genau kontrolliert wird, verschlechtern sich die Kantenqualitäten und die Notwendigkeit von Nachbearbeitungen steigt. Unser System sorgt dafür, dass die Temperatur genau dort bleibt, wo es vom Prozessplan vorgeschrieben wird – auf dem gesamten Wafer.
Wichtig ist eine präzise Kontrolle, die auch in der realen Produktion funktioniert. Unser Modul gewährleistet eine Genauigkeit von ±0,1 °C über den gesamten Wafer hinweg. Dabei werden NIR-optimierte Strahler verwendet, die eine schnelle, kontaktlose Energieübertragung ermöglichen. Die Kammer ist für Reinräume der Klassen 1 bis 100 geeignet – sie verfügt außerdem über einen laminaren Luftstrom sowie eine Null-Partikel-Generierung während des Trocknungsprozesses.
Die Wiederholgenauigkeit ist messbar: Eine Abweichung von weniger als 0,2 °C bei 1.000 Wafern. Zudem sind geeignete Profile für ein sanftes oder intensives Trocknen vorhanden. Dadurch wird eine konstante Kontrolle der kritischen Abmessungen während der anschließenden Ätzwärme- und Entwicklungsprozesse gewährleistet.
Der Grund, warum dieses System in der Produktion funktioniert, liegt darin, dass es dazu beiträgt, den Prozess ununterbrochen weiterlaufen zu lassen. Man kann 24/7 produzieren, mit minimalem Stillstand. Die Lebensdauer der Strahler beträgt mehr als 5.000 Stunden, und der Kontrollkreislauf überprüft sich selbst bei jedem neuen Batch. Der Energieverbrauch ist im Vergleich zu herkömmlichen Heizelementen geringer, und die Zykluszeit wird verkürzt, ohne dass die Ausbeute leidet.
Ein paar praktische Hinweise: Das System benötigt eine spezielle Stromversorgung von 208–240 V sowie einen ordnungsgemäß ausgestatteten Abgasabfluss. Die Integration in die meisten Produktionsanlagen ist einfach möglich – doch in ältere Öfen lässt sich das System nur durch eine mechanische Anpassung integrieren. Planen Sie daher zunächst alle notwendigen Anschlüsse und Leitungen vor – dann wird der Prozess reibungslos ablaufen.