Auf der Wafltoberfläche reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad bei der Weich- oder Hartbehandlung aus, um die kritischen Abmessungen zu verändern, Rückstände nach dem Ätzen zu hinterlassen und die Ausbeute zu verringern. Wir haben einen Infrarotlampenhalter für die Waferwerkzeuge entwickelt, damit das thermische Verhalten immer im Rahmen der Vorgaben bleibt – Cycle für Cycle.
Was wirklich wichtig ist: Der Halter wird mit NIR-Kristalllampen kombiniert, die die Wärme direkt in die Wafltoberfläche leiten – schnell und effektiv. In der Behandlungszone bleibt die Homogenität bei ±0,1°C, sodass der Fotolack eine konstante Temperatur erhält – ohne Hotspots.
Der Halter erfüllt die Anforderungen der Reinraumklassen 1–100, indem er Partikel unter Kontrolle hält: Es entstehen keine Gase in der heißen Zone, die Verbindungen sind dicht, und der keramische Aufbau bröckelt nicht ab. Die elektrische Schnittstelle ist dafür ausgelegt, hohe Ströme zu bewältigen und geringen Kontaktwiderstand zu bieten – dadurch bleibt die Leistung der Lampe auch bei 24/7-Betrieb stabil.
Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant – mit weniger als 5% Abfall. Das bedeutet, dass das thermische Profil in der Lithografie sowie in den anschließenden Ätzungsschritten nicht beeinträchtigt wird.
In der Lithografie sorgt der Halter dafür, dass das Weichbehandlungsprofil eingehalten wird: Lösungsmittel können entfernt werden, ohne dass der Fotolack beschädigt wird. Bei der Hartbehandlung wird genau die richtige Menge an Wärme bereitgestellt, damit der Fotolack haftet und widerstandsfähig gegen das Ätzen ist. Dadurch wird die Rauheit der Linien reduziert.
Die Wiederholbarkeit von Wafer zu Wafer bedeutet weniger Nacharbeiten, weniger Ausschuss und einen Planbaren Zykluszeitraum. Auch der Energieverbrauch sinkt – die Lampe erwärmt sich nur dann, wenn es notwendig ist, sie erreicht schnell ihre Betriebstemperatur, und die Standby-Verluste bleiben minimal.
Ein paar praktische Hinweise: Der Halter benötigt eine passende Lampe sowie eine geeignete Befestigungsmöglichkeit für das jeweilige Werkzeug. Überprüfen Sie daher vor der Installation Spannung, Stromstärke sowie die mechanischen Abstände.
Bei sehr dünnen Fotolackschichten können kleine Abweichungen dazu führen, dass der Wärmefluss gestört wird. In Räumen mit hoher Luftfeuchtigkeit sollten regelmäßige Überprüfungen durchgeführt werden, um die Integrität der Verbindungen sowie den thermischen Kontakt aufrechtzuerhalten.