Kohlenstoffeinsparung in den Spülprozessen für Halbleiter – ohne Probleme
Seien wir ehrlich: Die Spül- und Trocknungsphasen in den Halbleiterfabriken sind echte Energiefresser. Dort geht viel Energie verloren. Wir haben viel Zeit damit verbracht, eine Lösung dafür zu finden – und es stellte sich heraus, dass wasserdichte Infrarotlampen die Lösung sind.
Sie sind speziell für diese feuchten, luftfeuchten Spülabteile konzipiert – dort versagen normale Geräte einfach.
Keine Hitze mehr im Raum
Bei herkömmlichen Konvektionsöfen wird versucht, alles zu erhitzen. Dadurch wird viel Energie verschwendet, nur um den Wafer trocknen zu können. Das ist ineffizient.
Unsere Infrarotlampen funktionieren anders: Sie nutzen Kurzwellenstrahlung, um direkt die Oberfläche des Wafer zu erwärmen. Dadurch muss man nicht mehr mit der thermischen Masse des gesamten Systems kämpfen. Dadurch sinkt der Energieverbrauch. Zudem wird keine Energie mehr verschwendet, wenn das System stillsteht. Es ist also effizienter.
Umgang mit der Feuchtigkeit
Wenn man eine Standardquarztube in einen Spülabteil verwendet, wird sie zerbrechen oder durchbrennen. Die Feuchtigkeit ist einfach zu hoch.
Deshalb verschließen wir diese Geräte fest. Wir achten darauf, dass keine Feuchtigkeit eindringen kann – indem wir hochreinen Quarz sowie Dichtungen verwenden, die mit Wasserdampf umgehen können, ohne auszubrennen.
Aber Vorsicht: Man muss auf die Leistung achten. Eine Hochleistungs-Infrarotanlage erzeugt eine enorme Menge an Wärme. Wenn das Abkühlungssystem nicht stark genug ist, können die Sensoren und Werkzeuge beschädigt werden. Hier ist Ausgewogenheit wichtig.
„Grüne Fabriken“ werden zur Realität
Wenn man von „grünen Fabriken“ spricht, klingt das oft nach Marketinggeschwätz. Doch in der Praxis geht es einfach um Effizienz.
Einer der Vorteile von Infrarotlampen ist, dass sie sofort einsatzbereit sind – kein Warten nötig. So wird keine Energie mehr verschwendet, während die Wafer transportiert werden.
Die größten Erfolge erzielen wir, wenn Ingenieure die alten, schweren Heizgeräte durch Infrarotanlagen ersetzen. So kann man genau bestimmen, wo die Wärme hinfließt. Dadurch sinkt der Gesamtenerieverbrauch pro Wafer – und das ohne Verlangsamung der Produktionsgeschwindigkeit.