در خط تولید
یک نقطه داغ میتواند یک دسته کامل از میکرو الئیدی اپیویفرها را نابود کند. مراحل نرم و سخت پخت تنها پارامترهایی روی صفحه نیستند—آنها خطی در شن بین یک الگوی تمیز و یک دسته زباله هستند. بنابراین، ما بخاری برای خشک کردن ویفر میکرو الئیدی ساختیم تا آن مرحله حرارتی را به شیوهای اجرا کند که کارخانه نیاز دارد: بدون انحراف، بدون ذرات، بدون توقفهای غیرمنتظره.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد ما یکنواختی حرارتی در سطح ویفر را تا ±0.1°C در سراسر چاک حفظ میکنیم. حتی یک انحراف کوچک میتواند کنترل ابعاد بحرانی را تحت تأثیر قرار دهد و پروفیل دیواره جانبی را خراب کند. تابش مادون قرمز کوتاهموج حرارت سریع و بدون تماس را فراهم میکند که سطح را تمیز نگه میدارد. بدنه بخاری از کوارتز و سرامیک با خلوص بالا ساخته شده است، که برای استفاده در اتاقهای تمیز کلاس 1–100 طراحی شده و تولید ذرات را به حداقل میرساند. تکرارپذیری دما وجود دارد تا پنجره پخت فوتورزیست بسته شود—هر بار، شیفت پس از شیفت.
دلیل اینکه این سیستم در کار میکرو الئیدی کارایی دارد: بودجه حرارتی بسیار محدود است. باید حلالها را پاک کرده، لبههای کناری را کنترل کرده و پلیمر را بدون انحرافی که میتواند به متالیزاسیون آسیب برساند یا لایههای تابشی را جابجا کند، پایدار کنید. بخاری منحنی پخت را قفل میکند تا لیتوگرافی در سراسر دستهها ثابت بماند.
این به کاهش کار مجدد، کمتر شدن زباله و زمان چرخهای که میتوانید به آن اتکا کنید، ترجمه میشود. مصرف انرژی نیز منظم باقی میماند—انتقال تابشی کارآمد و کنترل زمان توقف هدفمند، گرمای زائدی را که مدیریت حرارتی محفظه را به مشکل میاندازد، کاهش میدهد.
چند نکته عملی نصب به جریان هوای اتاق تمیز و زمین کردن EMI محکم بستگی دارد. بهترین عملکرد را زمانی دریافت میکنید که سیستم خروجی و محافظت به پلتفرم مرتبط باشد. راهاندازی سریع است، اما همچنان باید دستورالعمل را برای دقیقترین پشته فوتورزیست و پشته زیرلایه خود تنظیم کنید.
برنامهریزی برای کالیبراسیونهای دورهای ضروری است. آن یکنواختی ±0.1°C تنها در صورتی معنیدار است که آن را در طول تولید طولانی حفظ کنید.