در خط تولید، خشک کردن لایه محافظ روی قطعات، یک فرآیند جداگانه نیست؛ بلکه این فرآیند، راهکاری برای حفظ ساختار قطعات پس از فرآیند لیتوگرافی است. اگر میزان حرارت تغییر کند، مرزهای قطعات مبهم شده و نیاز به بازسازی آنها افزایش مییابد. ما این سیستم را طوری طراحی کردهایم که میزان حرارت را دقیقاً در محدوده مورد نیاز، در سراسر ویفرها، حفظ کند.
آنچه اهمیت دارد، کنترل دقیق در شرایط تولید واقعی است. ماژول مورد استفاده، دقت تنظیم دما را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، در سراسر ویفرها، حفظ میکند؛ این کار با استفاده از منابع انرژی تنظیمشده برای انتقال انرژی سریع و بدون تماس انجام میشود. این اتاق، استانداردهای کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ را دارد؛ همچنین، جریان هوا در این اتاق منظم بوده و هیچ ذرهای در حین فرآیند تولید تولید نمیشود.
قابلیت تکرارپذیری این سیستم نیز قابل اندازهگیری است؛ انحراف دما در ۱۰۰۰ ویفر، کمتر از ۰.۲ درجه سانتیگراد است. همچنین، این سیستم دارای الگوهای مناسب برای فرآیندهای تولید مختلف است. این امر منجر به کنترل دقیق ابعاد قطعات در مراحل بعدی میشود.
دلیل موفقیت این سیستم در خط تولید این است که باعث ادامه فرآیند تولید میشود؛ شما میتوانید ۲۴ ساعته و بدون توقفات ناخواسته کار کنید. عمر منابع انرژی این سیستم بیش از ۵۰۰۰ ساعت است؛ همچنین، چرخه کنترلی این سیستم در هر بار شروع فرآیند، خود را بررسی میکند. مصرف انرژی این سیستم نسبت به اجاقهای معمولی کمتر است؛ همچنین، زمان لازم برای انجام فرآیند تولید کوتاهتر است، بدون اینکه به بازدهی تأثیری برسد.
برخی نکات عملی: این سیستم نیاز به منبع تغذیه ۲۰۸–۲۴۰ ولت دارد؛ همچنین، نیاز به مسیر مناسب برای خروج گازهای تولید شده نیز وجود دارد. ادغام این سیستم در اکثر پلتفرمهای تولید، آسان است؛ اما برای استفاده در اجاقهای قدیمی، نیاز به طراحی مکانیکی مجدد وجود دارد. ابتدا باید منابع لازم را در نظر بگیرید؛ سپس فرآیند تولید به خوبی انجام خواهد شد.