گرمکنهای مادونقرمز سازگار با شرایط خلأ: راهحل واقعی برای خطوط تولید ویفرهای پیشرفته
ما این گرمکنهای مادونقرمز سازگار با شرایط خلأ را به یک دلیل ساختیم: تا بتوانند در محیطهای دشوار فرآوری نیمههادیهای پیشرفته کار کنند. همچنین، این گرمکنها میتوانند گرمای منظم و با تراکم بالاای را در دقیقاً همان محلی که لازم است، تأمین کنند.
ما این دستگاهها را مستقیماً با برندهای بزرگ بینالمللی در خطوط تولید ویفرها مقایسه کردهایم؛ اعداد و آمار، خودشان گویای کیفیت این دستگاهها هستند.
درباره توان، ولتاژ و اندازه:
هسته این دستگاه، یک لوله کوارتزی به قطر ۳۰۰ میلیمتر است؛ اندازه آن به گونهای است که میتواند مستقیماً در ابزارهای استاندارد استفاده شود، بنابراین نیازی به تغییر کل سیستم نیست.
ولتاژ ورودی ۴۰۰ ولت، انتخاب تصادفی نیست؛ این ولتاژ امکان عبور جریان زیاد از طریق یک ساختار کوچک را فراهم میکند، و در نتیجه، تراکم انرژی مورد نیاز برای پاسخ سریع به تغییرات دما فراهم میشود.
توان ۲۵۰۰ واتی این دستگاه، به معنای افزایش سریع دما و حفظ دمای مطلوب، حتی در شرایط خلأ، است. اما نکته مهم این است که سیستم خنککننده محفظه نیز باید قادر به انجام وظیفه خود باشد؛ اگر سیستم تبادل حرارت مناسب نباشد، گرمای اضافی در اتاق ایجاد خواهد شد.
جزئیات مهم در طراحی این دستگاه:
در داخل لوله، چرخه هالوژنی باعث پایداری رشتههای الکتریکی میشود؛ بنابراین، این رشتهها حتی پس از هزاران بار چرخه حرارتی، دچار آسیب نمیشوند.
پوشش کوارتزی این دستگاه، به دلیل قابلیت انتقال بالای انرژی در باند مادونقرمز کوتاه، انتخاب شده است؛ این امر باعث گرم شدن مستقیم نقاط مورد نظر، بدون ایجاد هیچ مقاومتی، میشود.
یک لایه محافظ نیز از ورود ذرات و گازهای زائد در محیط خلأ جلوگیری میکند؛ بنابراین، محفظه همواره تمیز باقی میماند.
و درباره کانکتور R7s؟ این کانکتور، انتخابی هوشمندانه و عملی است؛ این کانکتور، جریان الکتریکی را کنترل میکند و تعویض لامپ را به کاری ساده تبدیل میکند.
تأثیر این دستگاه بر خطوط تولید ویفر:
در خطوط تولید ویفرهای پیشرفته، گرمکن باید گرمای دقیق و متمرکزی را تأمین کند، بدون ایجاد ذرات زائد یا اختلال در فرآیند تولید.
دستگاه مادونقرمز سازگار با شرایط خلأ ما، دقیقاً همین کار را انجام میدهد؛ این دستگاه، انرژی را دقیقاً در همان محلی که لازم است، تمرکز میکند، زمان فرآیندها را کاهش میدهد، و در نتیجه، زمان لازم برای تعمیرات نیز کمتر میشود.
این دستگاه برای محیطهای پاکسازیشده طراحی شده است؛ در این محیطها، قابلیت اطمینان دستگاه، بسیار مهم است.
اگر میخواهید ببینید این دستگاه چه کارهایی میتواند انجام دهد، ما آن را در خطوط تولید شما نصب خواهیم کرد؛ بگذارید اعداد و آمار، خودشان صحبت کنند.