در فرآیند لیتوگرافی، همانطور که میدانید، حتی تغییر کمی در دمای پختن رزست، میتواند باعث تغییرات ناچیز در ابعاد محصول شود؛ این تغییرات میتواند به میزان چند نانومتر باشد. این تغییرات بلافاصله قابل مشاهده هستند؛ سپس محصولات نامرغوب تولید میشوند. ما لامپهای مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که رفتار حرارتی ثابتی داشته باشند، حتی در شرایط مختلف.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟ ما از منابع تابش مادون قرمز با پاسخگویی سریع استفاده میکنیم؛ گرما مستقیماً وارد لایه رزست میشود، بدون اینکه باعث تغییر در دمای سطح آن شود. در نتیجه، یکنواختی دمایی در سطح ویفرها به میزان ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین منحنیهای پختن نیز ثابت باقی میمانند. این سیستم کاملاً تمیز است؛ هیچ ذرهای تولید نمیشود، که برای اتاقهای پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است. همچنین، این سیستم با استانداردهای SEMI سازگار است. بازدهی این سیستم در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کاری، کمتر از ۵٪ کاهش مییابد.
فرآیند پردازش رزست، در واقع مربوط به کنترل میزان گرمای تولید شده است. دمای پختن باید به سرعت به مقدار مورد نظر برسد، سپس ثابت بماند. لامپهای ما زمان پختن و دمای نهایی را در عرض چند ثانیه کاهش میدهند؛ در نتیجه، بازدهی بالاتری حاصل میشود، بدون نیاز به استفاده از انرژی بیشتر.
همین الگوی حرارتی، در هر بار تولید تکرار میشود؛ این قابلیت پیشبینیپذیری، باعث میشود کنترل ابعاد محصولات دقیق باشد. در خطوط تولید ۷×۲۴ ساعته، این سیستم باعث میشود که زمان توقف ناخواسته صفر باشد؛ همچنین، تعمیرات نیز در زمان مقرر انجام میشود، بدون اینکه منجر به مشکلات جدی شود.
چند نکته مهم وجود دارد که باید در نظر گرفته شود: نصب این سیستم ساده است، اما تنظیم فاصله بین لامپ و سطح ویفر، باید در محدودههای دقیقی انجام شود؛ در غیر این صورت، یکنواختی دمایی از بین میرود. همچنین، سطح لامپ بسیار داغ است؛ بنابراین، عایقبندی حرارتی و سیستمهای کنترلی ضروری هستند. همچنین، طیف تابش لامپ باید با باند جذب رزست مطابقت داشته باشد؛ رزستهای مختلف نیاز به الگوهای مادون قرمز متفاوتی دارند، بنابراین ما سیستم را متناسب با آنها طراحی کردهایم.