Pourquoi utilisons-nous des réflecteurs recouverts d’or pour le traitement des wafers ? soyons honnêtes : gaspiller de l’énergie dans un système de semi-conducteurs, c’est simplement une mauvaise conception. Lorsque l’on active un chauffage, une grande partie de cette énergie infrarouge se disperse ou s’échappe dans la boîtier du dispositif. C’est du gâchis. C’est pourquoi nous utilisons des revêtements en or sur les surfaces réfléchissantes. Cela empêche l’énergie de s’échapper.
La capacité de réflexion de l’or L’or n’est pas là pour donner un aspect plus luxueux à l’appareil. Il s’agit plutôt de physique. L’or est incroyablement efficace pour refléter les rayonnements infrarouges à longue longueur d’onde. Alors que l’aluminium ordinaire commence à perdre son efficacité lorsque la température augmente, l’or reste efficace. Il continue donc à refléter l’énergie. Cela signifie que presque chaque watt généré par l’élément chauffant atteint bien le wafer.
On obtient ainsi une concentration d’énergie beaucoup plus précise. Et comme l’énergie va exactement là où elle doit aller, il n’est pas nécessaire d’augmenter trop la puissance pour atteindre la température souhaitée.
Les problèmes liés aux câbles et à la chaleur intense Lorsqu’on traite avec ce genre d’énergie, les câbles doivent être suffisamment résistants. Nous utilisons des câbles isolés en Téflon pour une raison simple : ils ne fondent pas. Ils peuvent supporter la chaleur extrême près de la lampe sans libérer de gaz nocifs. Si l’isolation commence à se détériorer, des contaminants peuvent se former sur le wafer, ce qui est un vrai cauchemar.
Mais attention : il faut aussi surveiller l’impact thermique. Comme les réflecteurs en or sont très efficaces, ils génèrent beaucoup de chaleur sur le wafer. Si votre système de refroidissement n’est pas prêt à faire face à cette augmentation de température, vous risquez de endommager les capteurs environnants.
Une mise en garde concernant l’entretien L’or est le meilleur matériau pour cette tâche, mais il est très fragile. Très, très fragile. Si l’équipe d’entretien utilise des produits abrasifs pour nettoyer les surfaces, elle risque d’abîmer le revêtement en or. Cela crée des “points froids” sur le wafer, et le profil thermique devient chaotique. Il faut donc utiliser des méthodes de nettoyage non abrasives. C’est la seule façon de maintenir une réflexivité constante.
Lorsque les câbles sont correctement installés et que le revêtement est intact, tout fonctionne bien. Le temps de chauffage diminue, et on obtient un profil thermique uniforme sur tout le wafer.