Arrêtez de chauffer les parois de votre four (et commencez plutôt à chauffer vos wafers)
Si vous avez déjà utilisé un four conventionnel pour des travaux liés aux semi-conducteurs, vous connaissez bien le problème : on chauffe l’air, ce qui fait que toute la paroi intérieure du four devient comme un énorme radiateur. C’est une perte d’énergie inutile, et en plus, c’est dangereux pour toute personne se trouvant à proximité.
Nous avons pensé qu’il devait exister une meilleure solution. Au lieu de chauffer tout l’espace, nous dirigeons simplement la chaleur là où elle est nécessaire, à l’aide de rayonnement infrarouge directionnel.
Comment ça fonctionne en réalité ?
Pensez-y moins comme à un four, et plus comme à une lampe de poche. Les bobines thermiques classiques se contentent de réchauffer la pièce. Les lampes infrarouges, elles, émettent des rayonnements électromagnétiques en ligne droite. Cette énergie ne se soucie pas de l’air ; elle se déplace jusqu’à atteindre le substrat à chauffer.
Le meilleur avantage ? Les parois de votre équipement restent froides. Vous n’avez plus à vous soucier de ce problème gênant. L’énergie est directement dirigée vers la partie à chauffer.
Les équipements et la configuration
Selon la profondeur à laquelle vous souhaitez que la chaleur pénètre, nous utilisons généralement des lampes en quartz à ondes courtes ou moyennes. Elles ne prennent pas beaucoup de place, ce qui est un avantage dans des salles propres surpeuplées.
Mais le vrai avantage, c’est la vitesse. Il n’y a aucun retard thermique. Dès que vous actionnez l’interrupteur, la température désirée est atteinte en quelques secondes. Pas besoin d’attendre que l’air se réchauffe.
De plus, nous utilisons des matériaux qui ne libèrent aucune substance nocive. Nous plaçons également les lampes dans des réflecteurs qui concentrent le rayonnement, afin que la chaleur ne s’échappe pas vers les parties extérieures de l’équipement.
Les inconvénients (car rien n’est parfait)
Le problème, c’est que c’est un outil de précision, et non un appareil dont on peut se passer complètement. Comme la chaleur se déplace en ligne droite, vous risquez d’avoir des zones froides si la pièce à chauffer a une forme inhabituelle. Il faut donc être très précis lors de la conception. De plus, il faut que les supports de fixation soient solides. Si des vibrations ou des déplacements surviennent, le profil thermique sera perturbé.