בקו הייצור, ייבוש המסכה של החומר המשמש לחיבור הרכיבים אינו שלב נפרד – זו למעשה שלב תרמי שאחראי על שמירה על שלמות התבנית לאחר תהליך הליתוגרפיה. אם יש שינויים בטמפרטורה, הגבולות של התבנית נעשים עמומים יותר, וכתוצאה מכך יש צורך בעבודות תיקון נוספות. פיתחנו מערכת זו כדי שתשמור על הטמפרטורה הנכונה בכל חלקי הוופר, בדיוק כפי שדורשת תרשים הייצור.
מה שחשוב הוא השליטה בטמפרטורה לאורך כל תהליך הייצור. המודול שלנו מאפשר שליטה בטווח של ±0.1°C בכל חלקי הוופר, באמצעות גופי פלט מותאמים שמאפשרים העברה מהירה של אנרגיה ללא מגע פיזי. התא שבו מתבצע התהליך מתאים לשימוש בחדרים נקיים מסוג Class 1 עד Class 100, והוא מאפשר זרימה ליניארית של אוויר, ללא ייצור של חלקיקים במהלך התהליך.
ניתן למדוד את הדיוק של המערכת: שינוי בטמפרטורה של פחות מ-0.2°C ב-1,000 וופרים. יש גם אפשרויות לשליטה בקצב החימום, כך שניתן לשלוט בתהליך בצורה מדויקת. זה מאפשר שליטה עקבית בממדים החשובים של הרכיבים, לאורך כל שלבי העיבוד.
הסיבה שהמערכת עובדת כה טוב היא שהיא מאפשרת עבודה רציפה 24/7, עם זמן עצירה מינימלי. חיי השירות של גופי הפלט הם יותר מ-5,000 שעות, ומעגל השליטה מאומת בכל פעם שמתחיל תהליך חימום חדש. צריכת האנרגיה נמוכה יותר בהשוואה למערכות חימום רגילות, וזמן העיבוד מקוצר מבלי לפגוע בתפוקה.
יש כמה דברים חשובים לקחת בחשבון: המערכת דורשת מתח חשמלי של 208–240 וולט, וכן מערכת לפינוי הגזים שנוצרים במהלך התהליך. ניתן לשלב את המערכת בקלות ברוב מערכות הייצור, אך אי אפשר להתקין אותה בתנורים ישנים ללא שינוי מכני. יש לתכנן את התשתיות מראש, כדי שהתהליך יתנהל כראוי.