फैब्रिकेशन लाइन पर, सॉफ्ट बेकिंग के दौरान 1°C का अंतर ही पूरे वेफर को नष्ट कर सकता है। इस जोखिम को दूर करने हेतु हमने विशेष इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग किया। ये हीटर, वेफरों को सुखाने, फोटोरेसिस्ट को सुखाने, पैकेजिंग प्रक्रिया में उपयोग होने वाले पदार्थों को सुखाने, एवं सफाई के बाद वेफरों को सुखाने की प्रक्रिया में आवश्यक तापमान नियंत्रण प्रदान करते हैं।
महत्वपूर्ण बातें:
ये हीटर नियर-इन्फ्रारेड तरंगदैर्घ्य वाले होते हैं; इनके कारण लक्षित वस्तु को सीधे ही गर्म किया जाता है – कोई अतिरिक्त तापमान नहीं, कोई संदूषण नहीं। वेफरों पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर; एक शॉट से दूसरे शॉट तक भी तापमान में ±0.5°C का ही अंतर रहता है। प्रतिक्रिया समय दो सेकंड से भी कम है, इसलिए तापमान नियंत्रण बेहतर रहता है। क्लीनरूम क्लास 1–100 प्राप्त करने हेतु क्वार्ट्ज/सिरेमिक सामग्री का उपयोग किया जाता है; ऐसी सामग्रियों से कोई गैस निकलती नहीं, एवं कणों की मात्रा भी कम रहती है। ये हीटर 24/7 कार्य करने हेतु बनाए गए हैं; इनकी औसत उपयोग अवधि हजारों घंटों तक है।
लिथोग्राफी में, सॉफ्ट बेकिंग एवं हार्ड बेकिंग, महत्वपूर्ण आयामों के नियंत्रण में मदद करते हैं। हमारे हीटर, फोटोरेसिस्ट के तापमान को नियंत्रित करते हैं; इससे लाइन-विड्थ में भिन्नता कम हो जाती है, एवं उत्पादन दर बढ़ जाती है। वेफरों को सुखाने एवं सफाई के बाद वेफरों को सुखाने की प्रक्रिया में, तेज एवं समान तापमान से सतह पर कोई दाग या निशान नहीं बनता।
पैकेजिंग में, ये हीटर एनकैप्सुलेंट्स एवं अंडरफिल्स को सुखाने में मदद करते हैं; इससे प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं चिपकने की क्षमता एवं विश्वसनीयता भी बनी रहती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ऊष्मा सीधे ही प्रक्रिया में जाती है, न कि किसी बड़े चैंबर में।
ये हीटर, आपके उपकरणों के अनुरूप ही डिज़ाइन किए गए हैं। चैंबर की आकृति, क्लैम्पों की संरचना, एवं सेंसरों की स्थिति आदि महत्वपूर्ण हैं। इन हीटरों को स्थापित करना आसान है; इनके कार्य करने हेतु स्वच्छ एवं शुष्क हवा आवश्यक है। आपके सब्सट्रेट के अनुरूप ही तापमान नियंत्रण आवश्यक है; हम प्रत्येक प्रक्रिया हेतु आवश्यक डेटा भी प्रदान करते हैं।