CMP के बाद होने वाला सुखाने की प्रक्रिया, फैब फ्लोर पर उत्पादन दर कम करने वाले कारकों में से एक है। पानी के निशान, सूक्ष्म खरोंचें, एवं कणों का पुनः जमाव – ये सभी समस्याएँ अस्थिर तापमान एवं असमान थर्मल प्रोफाइल के कारण ही होती हैं। CMP के बाद वेफर को सुखाने हेतु उपयोग में आने वाले हीटर को केवल गर्म हवा ही प्रदान नहीं करनी चाहिए; बल्कि इसे ऐसा डिज़ाइन किया जाना चाहिए कि वेफर पर थर्मल नियंत्रण बना रहे, ताकि प्रक्रिया हमेशा निर्धारित सीमाओं के भीतर ही हो सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने इस हीटर को तेज़ प्रतिक्रिया देने वाले हीटिंग तत्वों एवं उच्च सटीकता वाले सेंसरों के साथ डिज़ाइन किया है; ताकि वेफर पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही बना रहे। नियंत्रण एल्गोरिथ्म, थर्मल लोड में होने वाले परिवर्तनों को संतुलित करता है – चाहे वह कैरियर की गति हो, दरवाज़ों का खुलना/बंद होना हो, या गैस प्रवाह में होने वाले परिवर्तन हों – ताकि वेफर पर तापमान स्थिर रहे। क्लीनरूम के मानकों का भी ध्यान रखा गया है – सामग्रियाँ एवं सीलें क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप हैं, एवं सतहों को ऐसे ही तैयार किया गया है कि कणों का उत्पादन कम हो। आउटपुट की पुनरावृत्ति सदा ही एक जैसी रहती है, एवं फील्ड डेटा से पता चलता है कि कोई अप्रत्याशित बंद होने की स्थिति ही नहीं होती।
CMP के बाद यह क्यों महत्वपूर्ण है?
CMP के तुरंत बाद, वेफर की सतह रासायनिक रूप से सक्रिय एवं यांत्रिक रूप से संवेदनशील होती है। यदि तापमान स्थिर रहे, तो फोटोरेसिस्ट कमज़ोर नहीं होगा, एवं सुखाने की प्रक्रिया के दौरान वेफर की संरचना भी सुरक्षित रहेगी। समान थर्मल वितरण से वेफर पर गर्म बिंदुओं की समस्या भी दूर हो जाती है।
इसके फायदे क्या हैं?
इससे दोषों की संख्या कम हो जाती है, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं प्रक्रिया का समय भी स्थिर रहता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि सिस्टम जल्दी ही निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है, एवं उसे बनाए रखता है। सर्विस इंटरवल भी बढ़ जाते हैं, क्योंकि घटक अपनी थर्मल सीमाओं के भीतर ही कार्य करते हैं।
क्या योजना बनाने की आवश्यकता है?
स्थापना के लिए उपकरणों की जगह, गैस आपूर्ति, एवं वेंटिलेशन सिस्टम का ध्यान रखना आवश्यक है। एयरफ्लो एवं तापमान सेटिंग्स को CMP प्रक्रिया एवं रिन्सिंग प्रक्रिया के अनुरूप सेट करना आवश्यक है। सेंसरों एवं ऑप्टिकल उपकरणों का नियमित रूप से कैलिब्रेशन करना भी आवश्यक है, ताकि ±0.1°C की सटीकता बनी रहे। यही तरीका है जिससे लंबे समय तक उत्पादन दर स्थिर रह सकती है।