Di pabrik pengolahan semikonduktor, proses pengeringan lapisan solder mask bukanlah langkah yang dilakukan secara terpisah. Proses ini merupakan bagian dari proses termal yang bertujuan untuk menjaga integritas pola pada permukaan wafer setelah proses litografi. Jika profil suhu tidak dikontrol dengan baik, maka batas-batas pola akan menjadi tidak jelas, dan diperlukan proses perbaikan yang lebih rumit. Kami merancang sistem ini agar suhu dapat dipertahankan sesuai dengan spesifikasi yang ditentukan dalam proses produksi, di seluruh permukaan wafer.
Yang penting adalah adanya kontrol yang efektif selama proses produksi berlangsung. Modul kami mampu mempertahankan keseragaman suhu hingga ±0,1°C, dengan menggunakan emiter yang dioptimalkan untuk memberikan energi secara cepat tanpa kontak fisik. Ruang proses ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1 hingga kelas 100, dengan aliran udara yang terkontrol dan tanpa pembentukan partikel selama proses pengeringan berlangsung.
Repetibilitas prosesnya juga dapat diukur: variasi suhu tidak melebihi 0,2°C pada 1.000 wafer. Sistem ini juga memiliki kemampuan untuk mengatur proses pengeringan secara halus maupun intensif. Hal ini memungkinkan kontrol yang akurat terhadap dimensi-dimensi kritis pada wafer, sehingga proses etching dan development dapat berjalan dengan lancar.
Alasan mengapa sistem ini efektif digunakan dalam proses produksi adalah karena ia mampu memastikan proses berjalan secara lancar. Proses produksi dapat berlangsung 24/7 dengan waktu henti yang minimal. Umur pakai emiter mencapai lebih dari 5.000 jam, dan sistem kontrolnya akan memverifikasi dirinya sendiri setiap kali proses dimulai. Konsumsi energi sistem ini lebih rendah dibandingkan plat panas konvensional, sehingga waktu proses pun dapat diperpendek tanpa mengorbankan produktivitas.
Beberapa hal penting yang perlu diperhatikan: sistem ini membutuhkan pasokan listrik sebesar 208–240 V, serta saluran pembuangan gas yang efektif. Integrasi sistem ini mudah dilakukan pada platform produksi modern, tetapi tidak dapat dipasang pada oven lama tanpa perubahan desain mekanis. Pastikan semua fasilitas pendukung sudah siap sebelum proses produksi dimulai.