Nella fase di produzione, l’essiccazione della maschera di saldatura non rappresenta un passaggio isolato: è piuttosto una procedura termica che permette di mantenere l’integrità dei motivi grafici ottenuti tramite litografia. Se i parametri termici vengono modificati, la definizione dei bordi dei motivi grafici peggiora e aumentano i tempi necessari per effettuare le correzioni. Abbiamo progettato questo sistema per garantire che i parametri termici rimangano esattamente come indicato dalla scheda di processo, su tutta la superficie del wafer.
Quello che conta è il controllo preciso dei parametri termici anche durante la produzione effettiva. Il nostro sistema garantisce una tolleranza di ±0,1°C tra il valore impostato e quello effettivo su tutto il wafer, grazie all’uso di emettitori ottimizzati per una distribuzione rapida ed efficiente dell’energia, senza alcun contatto fisico. La camera è compatibile con ambienti a livello di pulizia da Classe 1 a Classe 100, con flusso d’aria laminare e assenza totale di particelle durante il processo di essiccazione.
La ripetibilità dei risultati è elevata: la deviazione media è inferiore a 0,2°C su 1.000 wafer. Inoltre, sono disponibili programmi di essiccazione adatti sia per materiali sensibili alla luce che per quelli meno sensibili. Questo permette un controllo preciso delle dimensioni critiche durante le fasi successive di etching e sviluppo.
Ecco perché questo sistema funziona bene in produzione: mantiene i processi in corso senza interruzioni. È possibile operare 24/7 con pochissime pause impreviste; la durata di vita degli emettitori è superiore a 5.000 ore, e il circuito di controllo si autovalida ad ogni inizio ciclo. Il consumo energetico è inferiore rispetto ai tradizionali sistemi di riscaldamento, e il tempo di ciclo diminuisce senza che ne vada a scapito della resa produttiva.
Alcune note pratiche: il sistema richiede una tensione dedicata di 208–240 V e un sistema di aspirazione adeguato per eliminare i gas generati durante il processo. L’integrazione nel sistema di produzione è semplice nella maggior parte dei casi, ma non è possibile installarlo nei forni esistenti senza una modifica meccanica. È quindi necessario pianificare in anticipo tutti gli aspetti tecnici legati all’installazione del sistema.