リソグラフィーの工程においては、焼成温度が半度でも変動すると、フォトレジストの特性が崩れてしまいます。線幅の制御や密着性、欠陥密度といったものは、正確な温度管理にかかっています。私たちは、そのような温度管理を実現するために、専用の赤外線ランプを開発しました。 技術的な仕組みは簡単です。短波長の赤外...

リソグラフィーの工程では、ご存知の通り、わずか半度の精度の違いでも、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。すぐに問題が現れます——スカーミングやブリッジングなどが発生し、最終的には廃棄されるウェーハになってしまいます。そうならないように、私たちはフォトレ지ストを硬化させるための赤外線ラ...

ウェーハフロアの現場はご存知でしょう：サポートヒーターが設定温度から0.8°Cずれたためにストリップチャンバーが停止。フォトレジスト残留物が付着し、再作業が積み上がり、歩留まりが低下します。 背面で重要なポイント フォトレジストストリッピング用のサポートヒーターは、一つの目的で設計されています—繰...