燃え尽きたランプが生産性を台無しにするのを防ごう 高負荷の製造環境では、ランプが燃え尽きるというのは単なる厄介事にとどまりません。それはまさに悪夢です。 シリコンウェーハの上で石英管が破裂したと想像してみてください。至る所にガラスの破片や化学物質が散らばります。これが即座の二次的汚染です。これによ...

なぜ、無鉛硬化処理においてIR反射器が重要なのか 半導体業界では、無鉛化や省エネルギー化への取り組みが進んでいます。長年にわたり、対流式オーブンが使用されてきましたが、正直言って、大量の空気を加熱するのは莫大なエネルギーの無駄遣いです。 そこで、私たちは赤外線（IR）を利用した硬化処理に移行しまし...

リソグラフィーの工程では、ご存知の通り、わずか半度の精度の違いでも、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。すぐに問題が現れます——スカーミングやブリッジングなどが発生し、最終的には廃棄されるウェーハになってしまいます。そうならないように、私たちはフォトレ지ストを硬化させるための赤外線ラ...