IRシステムがリスクの原因にならないようにしましょう IRランプをアルミニウム製の反射器に取り付けるとき、単に光を当てるだけではありません。実際には、高電圧の電流を大きな導電性金属のすぐ近くに置いていることになります。 絶縁処理に少しでも手抜きがあれば、最悪の事態になります。例えば、全体の加熱機能...

化学処理を行う場所で赤外線ヒーターを使用する場合、その危険性はよく知られています。そこには可燃性の溶剤や腐食性のある蒸気が存在します。このような環境では、単純なワイヤー接続は単なる弱点に過ぎず、むしろ危険な要因となります。わずかな火花や密封不良があれば、瞬時に火災が発生する可能性があります。 これ...

ウェーハを常に清潔に保つために：IR加熱の真実 クラス100のクリーンルームで作業している場合、その苦労はご存知でしょう。わずかなほこりや微細な破片、あるいは部品から漏れ出すガスがあるだけで、全体の製品が台無しになってしまいます。 シリコンウェーハを加熱する際には、普通のランプを使ってはいけません...

製造現場では、300mmのウェーハには何千ものチップが搭載されており、それぞれのチップは熱歪みに敏感です。リソグラフィ装置内では、ソフトベイクとハードベイクの工程によって寸法精度が決まります。もしIR光源の均一性が保てなければ、線幅の制御も乱れ、結果として歩留まりが低下します。これは明確に測定可能...

製造現場において、フォトレジストの焼成工程は省略できないものです。ソフトベイクやハードベイク時の温度の変動が0.5℃でも、ウェーハの寸法精度に影響を与えてしまいます。また、ランプが故障すると、生産ラインが停止してしまいます。私たちは、このような状況に対応するために、24時間365日、停止することな...