ウェーハを常に清潔に保つために：IR加熱の真実
クラス100のクリーンルームで作業している場合、その苦労はご存知でしょう。わずかなほこりや微細な破片、あるいは部品から漏れ出すガスがあるだけで、全体の製品が台無しになってしまいます。
シリコンウェーハを加熱する際には、普通のランプを使ってはいけません。そのため、私たちは高純度の合成石英を使用しています。これにより、何もがウェーハに付着することがないのです。
なぜ石英が重要なのか
実は、一般的な石英は「純粋」とは言えません。高温になると不純物が蒸発してしまいます。これは、作業を始める段階で大きな問題になり得ます。
私たちは、このような問題を防ぐために、高純度の石英を使用しています。石英管は、まるで密閉された泡のようなものです。これにより、タングステンフィラメントがクリーンルームの空気に触れることがありません。
適切な温度を維持する
ウェーハ全体に均一な温度が必要です。高温域や低温域があってはいけません。
私たちは短波長のIRランプを使用しています。これにより、熱が直接ウェーハに伝わり、チャンバーの壁面が温まることはありません。また、高密度のフィラメントを使用しているため、PIDコントローラーによって電力が調整されると、ランプは即座に反応します。
ただし、電圧の低下には注意が必要です。長い回路で接続すると、抵抗が増してしまい、ウェーハの一部が他の部分よりも低温になってしまいます。専用の電源を使用することをお勧めします。これにより、アレイ内の各ランプの出力が一定に保たれます。
実際の使用時の注意点
これらのランプは、既存の半導体装置に簡単に取り付けられるように設計されています。しかし、冷却には十分注意が必要です。
これらのランプは、狭い空間に大量の熱を発生させます。もし空気の流れが悪ければ、石英部分に過度な熱ストレスがかかり、故障の原因となります。
コネクタを清潔に保ち、密封がしっかりしていることを確認しましょう。そうすれば、真空状態が適切に維持されます。