왜 적외선 반사체가 무연 접착 공정에 있어서 그토록 중요한지
반도체 산업은 무연화 및 에너지 절약 기준을 향해 끊임없이 노력하고 있습니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서, 거대한 공간을 가열하는 것은 엄청난 에너지 낭비입니다.
그래서 우리는 적외선을 이용한 접착 방식으로 전환했습니다. 적외선은 웨이퍼 표면에 직접 작용합니다. 하지만 문제는, 단순히 램프를 넣기만 해서는 안 된다는 것입니다. 이를 위해서는 효과적인 반사체가 필요합니다.
에너지 낭비를 줄이세요
적외선 램프가 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 램프는 모든 방향으로 열을 방출합니다. 반사체가 없으면 그 에너지의 절반이 기계의 벽면을 따뜻하게 하는 데 사용됩니다. 이는 명백한 에너지 낭비입니다.
우리는 이러한 낭비되는 에너지를 포착하여 다시 웨이퍼 쪽으로 보내도록 반사체를 설계합니다. 이렇게 하면 시스템에 더 많은 전력을 공급하지 않고도 더 높은 열량을 얻을 수 있습니다. 더 빠르죠. 그리고 빠르게 목표 온도에 도달하면 전체 처리 시간도 줄어듭니다.
실제로 효과적인 재료
우리는 품질이 의심스러운 코팅재를 사용하지 않습니다. 깨끗한 환경을 유지하고 환경 규제를 준수하기 위해, 우리는 고순도 알루미늄이나 금 도금된 기판을 사용합니다.
이러한 재료들은 단파 적외선 램프의 강한 열적 부하를 견딜 수 있으며, 변형되거나 구부러지지 않습니다. 우리는 “반사” 효과에 초점을 맞춥니다. 즉, 빛이 거울처럼 반사되는 것입니다. 만약 빛이 흩어진다면, 과열된 부분이 생기고, 그로 인해 웨이퍼가 파손될 수 있습니다. 아무도 그런 상황을 원하지 않습니다.
실제 현장의 현실
이건 그냥 “연결만 하면 끝”인 종류의 업그레이드가 아닙니다.
높은 반사율을 가진 표면을 사용하면 많은 열이 한 점에 집중됩니다. 만약 냉각 팬이 제대로 작동하지 않는다면 문제가 생길 수 있습니다. 우리는 열 밀도가 너무 높아져서 배선이 손상되거나 장비가 변형되는 경우를 본 적이 있습니다.
이는 균형을 맞추는 문제입니다. 초점과 웨이퍼까지의 거리를 정확히 조절해야 합니다.
적외선 접착 방식을 사용하면 화학 용매를 사용할 필요가 없으며, 클린룸의 탄소 발자국도 줄일 수 있습니다. 이는 장비와 싸우지 않고도 무연 표준을 충족시키는 가장 간단한 방법입니다.