웨이퍼 경화 램프용 반사판
왜 적외선 반사체가 무연 접착 공정에 있어서 그토록 중요한지
반도체 산업은 무연화 및 에너지 절약 기준을 향해 끊임없이 노력하고 있습니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서, 거대한 공간을 가열하는 것은 엄청난 에너지 낭비입니다.
그래서 우리...
포토레지스트 경화용 적외선 램프
리소그래피 공정에서는, 아시다시피, 약간의 온도 변화라도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 단 half degree만큼의 온도 변동이 있어도, 치수는 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 이런 경우 즉시 문제가 발생합니다. 웨이퍼 표면에 이상 현상이 생기고, 결국...