생산 라인에서는 솔더 마스크를 건조시키는 과정이 단독으로 이루어지는 것이 아닙니다. 이는 리소그래피 공정 이후에 패턴의 형태를 그대로 유지하기 위한 중요한 단계입니다. 만약 열 처리 과정의 조건이 변하면, 패턴의 가장자리가 흐려지고 재작업이 필요해집니다. 저희는 전체 웨이퍼에 걸쳐 공정 카드에서 지정된 정확한 온도 조건을 유지할 수 있도록 이 시스템을 설계했습니다.
중요한 것은 실제 생산 환경에서도 일관된 제어가 가능해야 한다는 점입니다. 저희 모듈은 NIR 기술을 활용하여 빠르고 비접촉식으로 에너지를 전달함으로써, 웨이퍼 전체에 걸쳐 ±0.1°C라는 높은 정밀도를 유지합니다. 이 챔버는 클래스 1부터 클래스 100까지의 청정실 환경에 적합하며, 계층적인 공기 흐름 구조를 가지고 있어서 열 처리 중에 입자가 발생하지 않습니다.
반복성도 매우 우수합니다. 1,000개의 웨이퍼를 처리할 때 3σ 기준으로 0.2°C 이하의 오차만 발생합니다. 또한, 소프트 베이크와 하드 베이크 공정에 맞게 조절 가능한 기능도 갖추고 있습니다. 이를 통해 이후의 에칭 및 현상 공정에서도 일관된 치수 제어가 가능합니다.
이 시스템이 생산 라인에서 효과적으로 작동하는 이유는, 프로세스를 연속적으로 진행할 수 있기 때문입니다. 24/7으로 작동할 수 있으며, 예기치 않은 다운타임도 거의 없습니다. 에미터의 수명은 5,000시간 이상이며, 각 배치 시작 시에 자동으로 제어가 이루어집니다. 전통적인 가열 장치에 비해 에너지 소비가 줄어들고, 수율도 저하되지 않습니다.
몇 가지 실용적인 팁을 드리자면, 이 시스템은 208–240V의 전력 공급이 필요하며, 가스 배출을 위한 적절한 배기 경로도 필요합니다. 대부분의 생산 라인에 쉽게 통합될 수 있지만, 기존의 오븐에는 기계적인 수정 없이는 설치할 수 없습니다. 먼저 필요한 인프라를 준비해두면, 프로세스도 순조롭게 진행될 것입니다.