웨이퍼 가공 장비용 온도 센서

도구의 내부 벽을 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 가열해 보세요. 반도체 웨이퍼의 온도를 적절하게 유지하는 것은 매우 정밀한 작업입니다. 하지만 일반적인 적외선 램프를 사용한다면, 사실상 실패할 수밖에 없습니다. 이러한 램프들은 열을 사방으로 방출하기 때문에,...