도구의 내부 벽을 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 가열해 보세요.
반도체 웨이퍼의 온도를 적절하게 유지하는 것은 매우 정밀한 작업입니다. 하지만 일반적인 적외선 램프를 사용한다면, 사실상 실패할 수밖에 없습니다. 이러한 램프들은 열을 사방으로 방출하기 때문에, 에너지의 상당 부분이 도구의 내부 벽을 데우는 데 사용됩니다.
이건 에너지 낭비입니다. 게다가, 장비의 케이스가 거대한 라디에이터 역할을 해서, 점검할 때 작업자가 화상을 입을 위험도 있습니다. 전혀 좋지 않습니다.
해결책은 간단합니다. 열을 무작위로 방출하는 것을 그만두고, 정확한 방향으로 열을 전달해야 합니다. 우리는 방향성 있는 적외선 가열 기술을 사용하여 이 문제를 해결합니다.
실제 작동 원리
일반적인 석영 램프는 마치 360도로 열을 방출하는 전구와 같습니다. 웨이퍼 처리 장비에서는 그 에너지의 절반이 금속 벽에만 낭비됩니다.
우리는 특수한 반사판과 필터를 사용하여 열을 정확한 곳으로 집중시킵니다. 그렇게 하면 웨이퍼 표면에만 열이 집중되고, 도구의 나머지 부분은 차갑게 유지됩니다. 이제는 더 이상 기계의 내부를 오븐처럼 만들 필요가 없습니다.
가장 어려운 부분: 정확한 위치 설정
이러한 램프들은 좁은 공간에 설치되도록 설계되었지만, 그렇다고 해서 그냥 꽂아서 사용할 수 있는 것은 아닙니다. 초점을 맞추는 것이 매우 중요합니다.
램프가 조금이라도 축에서 벗어나면 문제가 생깁니다. 웨이퍼에는 차가운 부분이 생기고, 벽에는 뜨거운 부분이 생깁니다. 이는 매우 까다로운 요구사항이며, 정확한 조작이 필요합니다.
또한 공기 흐름도 고려해야 합니다. 고출력의 방향성 램프는 강력하지만, 램프 자체도 열을 발생시킵니다. 만약 내부 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않으면, 시간이 지나면서 커넥터가 손상되거나 반사판의 코팅이 손상될 수 있습니다. 따라서 열량과 냉각 능력을 균형 있게 조절해야 합니다.
팀에게 주는 혜택
열이 기계의 내부로 새어 들어가는 것을 막으면 모든 것이 훨씬 쉬워집니다. 사람들을 안전하게 보호하기 위해 모든 내부 패널에 중간 절연재를 붙일 필요가 없습니다.
그 결과, 장비의 점검도 훨씬 쉬워집니다. 금속이 너무 뜨거워져서 피부에 화상을 입을 정도가 되기를 기다릴 필요 없이, 즉시 부품을 교체할 수 있습니다. 이는 훨씬 더 안전하고 빠른 작업 방식입니다.