웨이퍼용 맞춤형 적외선 히터

팹에서는 소프트 베이크 과정에서 1°C의 온도 변동만으로도 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다. 이러한 위험을 줄이기 위해 저희는 특수한 적외선 히터를 개발했습니다. 이 히터들을 사용하면 웨이퍼 건조, 포토레지스트 베이킹, 패키징 과정, 그리고 클린업 후 건조 과정에서...