IR 시스템이 위험 요소가 되지 않도록 주의하세요. IR 램프를 알루미늄 반사판에 넣을 때, 단순히 빛을 비추는 것 이상의 작용이 일어납니다. 사실상 고전압 전류가 전도성 금속과 매우 가까운 곳에 존재하게 되는 것입니다. 절연 처리에 조금이라도 실수가 있으면 큰 문제...

화학 처리 구역에서 적외선 히터를 안전하게 사용하는 방법 만약 화학물질 처리 라인 주변에서 적외선 히터를 사용한다면, 그 위험성을 잘 알고 있을 것입니다. 그곳에는 가연성 용매와 부식성 기체들이 공기 중에 떠다닙니다. 이러한 환경에서는 일반적인 전선 연결 방식은 단순...

와펫을 항상 깨끗하게 유지하기 위한 방법: IR 가열의 진실 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 미세한 이물질, 혹은 부품에서 새어 나오는 기체만으로도 전체 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 실리콘...

생산 라인에서는 300mm 웨이퍼에 수천 개의 칩들이 있으며, 이 칩들은 모두 온도 변화에 매우 민감합니다. 리소그래피 장비 내부에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 과정을 통해 치수 정확도를 유지합니다. 만약 적외선 소스가 일정한 온도를 유지하지 못한다면, 선의 굵기...

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 절대로 생략될 수 없습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 제품의 치수 정밀도에 악영향을 미칠 수 있으며, 한 개의 램프가 고장 나면 전체 생산 공정이 중단됩니다. 우리는 바로 이러한...