와펫을 항상 깨끗하게 유지하기 위한 방법: IR 가열의 진실
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 미세한 이물질, 혹은 부품에서 새어 나오는 기체만으로도 전체 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다.
실리콘 웨이프를 가열할 때는 그냥 아무 램프나 사용할 수 없습니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영을 IR 램프에 사용합니다. 이것만이 작업 공간에 아무것도 떨어지지 않도록 하는 유일한 방법입니다.
왜 석영이 중요한가?
사실, 일반적인 석영은 “순수”하지 않습니다. 열이 가해지면 불순물들이 증발하기 시작합니다. 이는 가동 초기 단계에서 큰 문제가 될 수 있습니다.
우리는 그러한 문제를 방지하기 위해 고순도 석영을 사용합니다. 석영 튜브는 마치 밀폐된 진공 상태와 같아서, 텅스텐 필라멘트가 청정실의 공기와 접촉하지 않도록 해줍니다.
적절한 온도를 유지하는 방법
전체 웨이프에 걸쳐 온도가 균일해야 합니다. 과열된 부분도, 저온이 되는 부분도 있어서는 안 됩니다.
우리는 단파장 IR 램프를 사용합니다. 이렇게 하면 열이 웨이프 자체로 직접 전달되어, 챔버의 벽만 따뜻해지는 것을 방지할 수 있습니다. 게다가 고밀도 필라멘트를 사용하기 때문에, PID 컨트롤러가 전력을 조절할 때 즉시 반응합니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 전압 강하를 주의해야 합니다. 만약 램프들을 긴 회로로 연결한다면, 저항으로 인해 웨이프의 일부가 다른 부분보다 더 차가워질 수 있습니다. 따라서 전용 전원 공급 장치를 사용하는 것이 좋습니다. 이것이 배열된 모든 램프의 전력을 일정하게 유지하는 가장 좋은 방법입니다.
실제 사용 시 주의사항
이 램프들은 기존의 반도체 장비에 바로 연결될 수 있도록 설계되어 있습니다. 하지만 냉각 시스템도 잊어서는 안 됩니다.
이 램프들은 작은 공간에 많은 열을 생성합니다. 만약 공기 흐름이 원활하지 않다면, 석영 부분에 열 스트레스가 가해져 손상될 수 있습니다.
따라서 커넥터를 깨끗하게 유지하고, 밀폐 상태를 잘 유지하는 것이 중요합니다. 그러면 진공 상태도 원하는 대로 유지될 것입니다.