MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

화학적 세척 후에 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열이 필요합니다. 하지만 빠르게 열을 공급해야 합니다. 다만 문제가 있습니다. 가연성이나 폭발성이 있는 증기가 주변에 있을 경우, 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 위험한 요소가 됩니다. 누구도 실험실에...