화학적 세척 후에 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열이 필요합니다. 하지만 빠르게 열을 공급해야 합니다. 다만 문제가 있습니다. 가연성이나 폭발성이 있는 증기가 주변에 있을 경우, 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 위험한 요소가 됩니다.
누구도 실험실에서 화재가 발생하는 것을 원하지 않습니다. 그래서 우리는 다른 방식을 사용합니다. 우리는 특수한 캡슐화 시스템을 사용하여 가열 요소를 주변 공기와 완전히 분리된 안전한 구역에 넣습니다.
유해한 물질의 침입 방지 우리는 적외선 석영관을 사파이어나 고급 석영으로 만들어진 내화성이 뛰어난 소재로 감싸줍니다. 이는 마치 보호막과 같은 역할을 합니다. 이를 통해 휘발성 유기화합물(VOCs)이 그 뜨거운 필라멘트에 닿는 것을 막을 수 있습니다.
만약 밀폐가 실패하더라도, 가스는 가열 요소가 아닌 통제된 공간에 들어갑니다. 연결 부위에서도 누출이 없도록 고온 용접이나 특수한 유리-금속 밀봉 방식을 사용합니다. 이 모든 것은 안심을 위한 조치입니다.
열 관리 문제는 고강도 적외선 램프가 매우 뜨거워진다는 점입니다. 외부 케이스가 너무 뜨거워지면 주변의 증기가 폭발할 수 있습니다.
이를 방지하기 위해 우리는 질소나 진공 상태의 기체가 들어 있는 이중 벽 구조를 사용합니다. 이렇게 하면 적외선이 웨이퍼를 건조시키는 데 사용되지만, 외부 표면 온도는 잘 조절됩니다.
하지만 적절한 균형을 찾아야 합니다. 과도하게 절연 처리하면 램프 내부가 너무 뜨거워집니다. 전력을 너무 많이 사용하면 필라멘트가 예상보다 빨리 손상됩니다.
설치 방법 우리는 지속적인 작동에도 견딜 수 있도록 이러한 히터를 제작합니다. 설치용 브라켓도 스파크가 나지 않는 재질로 만들어져 있어서 설치 중에 스파크가 발생할 걱정이 없습니다.
마지막으로, 배선을 반드시 확인해야 합니다. 배선이 해당 히터의 열부하를 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 절연재가 손상되어 단락이 발생할 수 있고, 그러면 다시 처음부터 시작해야 합니다.