도구의 내부 벽을 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 가열해 보세요. 반도체 웨이퍼의 온도를 적절하게 유지하는 것은 매우 정밀한 작업입니다. 하지만 일반적인 적외선 램프를 사용한다면, 사실상 실패할 수밖에 없습니다. 이러한 램프들은 열을 사방으로 방출하기 때문에,...

웨이퍼 처리 과정에서, 소프트 베이크나 하드 베이크 시 약 반도의 온도 변화만 있어도 치명적인 문제가 발생할 수 있습니다. 에칭 과정 후에는 이물질이 남을 수 있으며, 생산 효율도 떨어집니다. 저희는 웨이퍼 처리 장비용 적외선 램프 소켓을 설계할 때, 반복적인 처리...