Penderia suhu untuk alat pemprosesan wafer
Hentikan penggunaan lampu inframerah biasa untuk memanaskan dinding alat tersebut, dan gantikannya dengan kaedah pemanasan yang lebih efisien....
Soket lampu inframerah untuk alat pemprosesan wafer
Pada permukaan wafer, perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pembakaran lembut atau keras sudah cukup untuk mengubah dimensi penting...