Pada permukaan wafer, perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pembakaran lembut atau keras sudah cukup untuk mengubah dimensi penting wafer tersebut. Ia juga boleh menyebabkan timbulnya kotoran selepas proses etching, serta mengurangkan kadar pengeluaran wafer yang berkualiti. Kami telah mencipta soket lampu inframerah khusus untuk alat-alat yang digunakan dalam proses pembakaran wafer, agar suhu dapat dikawal dengan tepat dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Yang penting ialah soket ini dipasangkan bersama lampu kuarsa NIR, yang membolehkan haba disalurkan terus ke wafer dengan cepat dan efektif. Di kawasan pembakaran, ketepatan suhu kekal pada tahap ±0.1°C, supaya lapisan fotoresist dapat berfungsi dengan baik tanpa terjejas oleh perbezaan suhu.
Soket ini memenuhi standard bilik bersih kelas 1–100, kerana ia mampu mengawal zarah-zarah yang ada di sekitarnya. Tiada gas yang dilepaskan di kawasan panas, sambungan antara komponen-komponen juga tertutup rapat, dan badan soket diperbuat daripada bahan seramik yang tidak mudah retak. Antaramuka elektrikalnya pula direka untuk menahan arus yang tinggi dan rintangan sentuhan yang rendah, jadi kuasa lampu tetap stabil walaupun digunakan 24/7.
Kualiti output wafer kekal stabil selama lebih daripada 5,000 jam, dengan penurunan kualiti kurang dari 5%. Ini bermakna faktor suhu dalam proses litografi dan langkah-langkah etching seterusnya tidak akan berubah secara drastik.
Dalam proses litografi, soket ini memastikan profil suhu yang sesuai semasa proses pembakaran lembut – pelarut akan keluar tanpa merosakkan lapisan fotoresist. Semasa proses pembakaran keras pula, soket ini memberikan suhu yang tepat untuk meningkatkan daya rekat dan ketahanan lapisan fotoresist terhadap proses etching, sekali gus mengurangkan ketidakteraturan pada permukaan wafer.
Ketepatan proses pembakaran dari wafer ke wafer membolehkan pengurangan jumlah kerja pembaikan, pengurangan sisa bahan, dan masa kitaran yang lebih dapat diramalkan. Penggunaan tenaga juga berkurangan – lampu hanya akan menyala apabila diperlukan, dan kerugian tenaga semasa keadaan bersedia juga diminimumkan.
Beberapa perkara praktikal yang perlu diperhatikan: Soket ini memerlukan lampu yang sesuai serta reka bentuk pemasangan yang tepat. Oleh itu, pastikan voltan, arus, dan jarak mekanikal sesuai sebelum memasangnya.
Pada lapisan fotoresist yang sangat nipis, perubahan suhu yang kecil pun boleh menyebabkan perubahan pada aliran bahan kimia. Di kawasan yang mempunyai kelembapan tinggi, lakukan pemeriksaan berkala untuk memastikan integriti sambungan dan hubungan termal tetap stabil.