Utrzymanie płytek krzemowych w stanie czystości: prawda o podgrzewaniu IR
Jeśli prowadzisz pracownię o czystości klasy 100, na pewno znasz ten koszmar. Jedna mała skrawków kurzu, jeden mikroskopijny fragment brudu lub jakiś gaz przeciekający z komponentu – i gotowe. Cała partia produktu staje się bezużyteczna.
Podczas podgrzewania płytek krzemowych nie można używać zwykłych lamp. Dlatego do naszych lamp IR używamy syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości. To jedyny sposób na zapewnienie, że nic nie spadnie na powierzchnię płytki podczas procesu obróbki.
Dlaczego kwarc jest tak ważny?
Standardowy kwarc w rzeczywistości nie jest „czysty”. Zawiera domieszki, które zaczynają parować w gorących warunkach. To katastrofa, która może wystąpić podczas fazy rozgrzewania.
Używamy kwarcu o wysokiej czystości, aby uniknąć takiego efektu. Można porównać rurkę kwarcową do szczelnej bańki próżniowej – dzięki temu włókno wolframu pozostaje w zamknięciu i nie ma kontaktu z powietrzem panującym w pracowni.
Ustalenie odpowiedniej temperatury
Temperatura musi być jednakowa na całej powierzchni płytki. Żadnych gorących punktów, żadnych zimnych stref.
Nasze lampy są przeznaczone do pracy w zakresie krótkich fal IR. Dzięki temu ciepło szybko dociera do powierzchni płytki, zamiast ogrzewać tylko ścianki komory. Ponadto, dzięki użyciu włóken o wysokiej gęstości, lampy reagują niemal natychmiast na zmiany mocy sterowane przez kontroler PID.
Ale pamiętaj: miej oko na spadki napięcia. Jeśli lampy będą połączone w długiej sekwencji, opór może sprawić, że niektóre części płytki będą chłodniejsze od innych. Polecam używanie dedykowanych zasilaczy. To najlepszy sposób na utrzymanie stałej mocy dla każdej z lamp.
Realia używania tych lamp
Lampy te są zaprojektowane tak, by można je było łatwo podłączyć do istniejących urządzeń do pracy z półprzewodnikami. Ale nie zapominaj o chłodzeniu.
Lampy wytwarzają dużo ciepła w małej przestrzeni. Jeśli przepływ powietrza jest słaby, to powstanie nadmierny nacisk termiczny na elementy kwarcowe. To szybka droga do ich uszkodzenia.
Trzymaj złącza w czystości, upewnij się, że uszczelki są dobrze zamknięte – wtedy integralność próżni pozostanie na właściwym poziomie.