Mantendo suas bolachas de silício imaculadas: A verdade sobre o aquecimento por IR
Se você trabalha em uma sala limpa de classe 100, já sabe qual é o problema. Um único grão de poeira, uma partícula microscópica ou algum gás que vaza de um componente pode estragar todo o lote de produtos.
Quando se trata de aquecer bolachas de silício, não se pode usar qualquer lâmpada comum. Por isso, usamos quartzo sintético de alta pureza para nossas lâmpadas de IR. É a única maneira de garantir que nada seja dispersado sobre o material a ser processado.
Por que o quartzo é tão importante?
O fato é que o quartzo padrão não é realmente “puro”. Ele contém impurezas que começam a se vaporizar quando a temperatura sobe. Isso pode causar problemas durante a fase de aquecimento.
Usamos quartzo de alta pureza para evitar esse problema. Pense no tubo de quartzo como uma bolha hermeticamente selada. Isso evita que o filamento de tungstênio entre em contato com o ar da sala limpa.
Como obter a temperatura ideal
É necessário que a temperatura seja uniforme em toda a superfície da bolacha de silício. Sem pontos quentes ou zonas frias.
Nossas lâmpadas são projetadas para emitir radiação infravermelha de onda curta. Isso significa que o calor atinge diretamente o substrato, em vez de apenas aquecer as paredes da câmara. Além disso, como usamos filamentos de alta densidade, as lâmpadas reagem instantaneamente às alterações de potência feitas pelo controlador PID.
Mas atenção: monitore a queda de tensão. Se as lâmpadas forem conectadas em série, a resistência pode causar diferenças de temperatura entre as partes da bolacha de silício. Recomendo o uso de fontes de alimentação dedicadas. É a melhor maneira de manter a potência constante em todas as lâmpadas.
A realidade de conectá-las
Essas lâmpadas são projetadas para serem conectadas diretamente aos equipamentos de semicondutores existentes, sem dificuldades. Mas não se esqueça do sistema de resfriamento.
Essas lâmpadas geram muito calor em um espaço pequeno. Se o fluxo de ar for insuficiente, haverá excessivo estresse térmico nos terminais de quartzo. Isso pode causar danos rápidos às lâmpadas.
Certifique-se de que os conectores estejam limpos e que os selos estejam bem fechados. Assim, a integridade do vácuo será mantida como deveria.