Инфракрасное излучение против горячего воздуха: не стоит ждать, пока детали нагреются
Если вы работаете в области глубокой обработки полупроводников, вы знаете, как тяжело ждать — в частности, когда приходится ждать, пока камера нагреется.
Долгое время мы просто использовали горячий воздух, надеясь на лучшее. Но воздух — ужасный проводник тепла. Он нагревает объекты медленно. При использовании принудительной циркуляции воздуха вы фактически ждете, пока воздух передаст тепло вашему объекту обработки.
Инфракрасное излучение меняет ситуацию. Оно полностью исключает необходимость в посреднике. Вместо нагревания воздуха инфракрасное излучение направляет электромагнитные волны прямо на поверхность объекта обработки.
Это быстро. Действительно очень быстро.
Подумайте о времени, которое тратится на подготовку оборудования с использованием систем с горячим воздухом. Вы просто стоите там, пока камера постепенно нагревается до нужной температуры. С использованием инфракрасного излучения достичь нужных температур можно за секунды.
К тому же в чистом помещении становится больше свободного пространства. Не нужны огромные вентиляторы или сложные системы вентиляции, которые занимают ценное пространство.
Но есть и недостатки. Инфракрасное излучение действует только в пределах линии видимости. В отличие от горячего воздуха, который охватывает все вокруг, инфракрасное излучение может воздействовать только на те участки, которые оно может “увидеть”. Если у вашего объекта обработки сложная геометрия или много углублений, возникают проблемы с неравномерным нагревом.
Необходимо тщательно продумать расположение ламп и угол наклона отражателей, чтобы избежать неравномерного нагрева.
Для производства больших объемов продукции переход на инфракрасное излучение — это очевидный выбор, так как это сокращает время обработки. Вы получаете более высокую скорость обработки и более чистую среду для работы.
Важно также убедиться, что датчики действительно измеряют радиационное тепло. Если вы продолжаете измерять температуру окружающего воздуха, вы можете повредить поверхность объекта обработки.