Инфракрасные нагреватели, совместимые с вакуумными условиями: реальное решение для передовых линий обработки полупроводников
Мы создали эти инфракрасные нагреватели, совместимые с вакуумными условиями, по одной причине: чтобы они могли функционировать в экстремальных условиях производства полупроводников. Кроме того, они обеспечивают стабильное и высокоэффективное нагревание в том месте, где это необходимо.
Мы уже сравнивали наши устройства с продукцией крупных международных производителей прямо на самых современных линиях обработки полупроводников. Цифры говорят сами за себя.
Поговорим о мощности, напряжении и размерах
Ядро устройства представляет собой кварцевую трубку диаметром 300 мм. Ее размер позволяет использовать ее в стандартном оборудовании, так что не нужно перестраивать всю систему.
Напряжение 400 В выбрано не случайно. Благодаря ему возможно передача значительного количества тока через компактную конструкцию, что обеспечивает необходимую плотность мощности для быстрого нагрева.
Мощность в 2500 Вт позволяет достигать высоких температур даже в вакуумных условиях. Но есть один нюанс: система охлаждения камеры должна быть достаточно мощной. Если теплообменник имеет недостаточный размер, избыточное тепло будет накапливаться в помещении.
Детали конструкции: то, что действительно важно
Внутри трубки халогеновый цикл обеспечивает стабильность нитьки нагревателя. Это позволяет ей сохранять свои свойства даже после тысяч циклов нагрева/охлаждения.
Кварцевая оболочка выбрана благодаря высокой пропускной способности в диапазоне коротковолнового инфракрасного излучения. Это позволяет осуществлять прямое нагревание без лишних затрат энергии.
Защитный слой предотвращает загрязнение и выделение газов в вакуумных условиях, что делает камеру чистой.
А разъем R7s? Это просто удачный и практичный выбор. Он обеспечивает надежное крепление, правильную передачу тока, а также упрощает замену лампы.
Что это значит для вашей линии обработки полупроводников
На передовых линиях обработки полупроводников нагреватель должен обеспечивать точное и локализованное нагревание, не создавая при этом лишних частиц и не нарушая процесс обработки.
Наши инфракрасные нагреватели, совместимые с вакуумными условиями, именно это и делают. Они фокусируют энергию в нужном месте, сокращают время циклов обработки и снижают расходы на техническое обслуживание.
Эти устройства разработаны для работы в условиях чистых комнат, где надежность имеет первостепенное значение.
Если вы хотите увидеть, на что они способны, мы можем установить их на вашу линию. Пусть цифры скажут сами за себя.