Как сохранить пластинки кремния в идеально чистом состоянии: правда о использовании инфракрасного обогрева
Если вы работаете в помещении класса 100, вы уже знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Один маленький кусочек пыли или какой-то газ, проникший из компонентов — и вся партия продукции становится бесполезной.
Что касается нагрева пластинок кремния, то здесь нельзя использовать обычные лампы. Поэтому мы используем синтетический кварц высокой чистоты для наших инфракрасных ламп. Только так можно быть уверенным, что ничего не будет попадать на поверхность пластинок.
Почему кварц так важен
Стандартный кварц на самом деле не является «чистым». В нем содержатся примеси, которые начинают испаряться при повышении температуры. Это может привести к серьезным проблемам в процессе производства.
Мы используем кварц высокой чистоты, чтобы избежать этого эффекта. Можно представить кварцевую трубку как hermetically sealed объем. Это позволяет удерживать вольфрамовую нить внутри, так что она не контактирует с воздухом в помещении.
Как правильно регулировать температуру
Необходимо, чтобы температура была одинаковой по всей поверхности пластинки. Никаких «горячих точек» и «холодных зон».
Мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Это позволяет теплу быстро распространяться по всей поверхности пластинки, а не только нагревать стены камеры. Кроме того, благодаря высокой плотности нити, лампы реагируют мгновенно на изменения мощности, заданные контроллером PID.
Но будьте осторожны: следите за напряжением. Если лампы подключены в длинную последовательность, сопротивление может привести к тому, что некоторые части пластинки будут холоднее других. Я бы рекомендовал использовать специальные источники питания. Это лучший способ сохранить постоянную мощность для каждой лампы.
Реальность использования
Эти лампы разработаны так, чтобы их можно было легко подключить к существующему оборудованию для обработки полупроводников. Но не забывайте о системе охлаждения.
Эти лампы выделяют большое количество тепла в небольшом пространстве. Если поток воздуха слабый, это может привести к перегреву кварцевых элементов. Это может привести к их повреждению.
Просто следите за чистотой контактов, убедитесь, что уплотнения работают корректно, и что уровень вакуума остается на должном уровне.