На поверхности пластины даже небольшое смещение температуры во время процедур мягкой или жесткой обработки может привести к изменению критических размеров деталей, образованию осадка после эчинга и снижению качества продукции. Мы разработали специальные корпуса для инфракрасных ламп, чтобы обеспечить стабильную температуру в процессе обработки пластин — цикл за циклом.
Важно то, что такие корпуса используются вместе с кварцевыми лампами ИК-диапазона, которые передают тепло прямо на поверхность пластины, как это необходимо: быстро и без потерь. В зоне обработки температура сохраняется на уровне ±0,1°C, что позволяет фотополимеру работать при стабильной температуре, без возникновения «горячих точек».
Эти устройства соответствуют стандартам чистых комнат класса 1–100, поскольку позволяют контролировать количество частиц в воздухе; в горячей зоне не происходит выделения газов, элементы соединений запечатаны, а керамический корпус не разрушается со временем. Электрический интерфейс рассчитан на высокий ток и низкое сопротивление контактов, поэтому мощность лампы остается стабильной даже при круглосуточной эксплуатации.
Работа лампы сохраняет стабильность в течение 5 000 часов и более, с падением мощности менее чем на 5%. Это означает, что температурные условия в процессе литографии и последующих этапов обработки не меняются.
В процессе литографии такие корпуса обеспечивают стабильное температурное окружение: растворители удаляются без повреждения фотополимера. При жесткой обработке они обеспечивают точный уровень температуры, необходимый для хорошего прилипания материала и его устойчивости к эчингу, что снижает шероховатость поверхности.
Повторяемость результатов при обработке разных пластин позволяет сократить количество переработок, уменьшить количество отходов и позволяет планировать время выполнения операций. Также снижается потребление энергии: лампа нагревается по мере необходимости, быстро достигает нужной температуры, а потери энергии в режиме ожидания минимальны.
Несколько практических замечаний: для использования таких корпусов необходимы подходящие лампы и специальные крепления. Перед установкой необходимо проверить напряжение, ток и механические характеристики устройства.
При очень тонких слоях фотополимера требуется более строгий контроль температуры — даже небольшое отклонение может повлиять на процесс обработки. В условиях высокой влажности необходимо регулярно проверять состояние соединений и стабильность температурных условий.