Прекратите нагревание стенок оборудования
Большинство нагревательных элементов создают лишний жар. Они распространяют тепло повсюду, что представляет проблему при производстве полупроводниковой аппаратуры. В результате возникают «горячие зоны», где корпус оборудования поглощает лишнюю энергию.
Это двойная проблема: с одной стороны, тратится много энергии, а с другой — операторам приходится постоянно избегать ожогов, чтобы обеспечить работу оборудования. Не говоря уже о риске деформации внутренних компонентов оборудования.
Мы нашли лучшее решение — использование направленных инфракрасных ламп.
Как это работает
Лучше всего считать такие лампы не своего рода обогревателями, а фонариками. Вместо того чтобы нагревать весь воздух в камере, инфракрасные лампы излучают электромагнитные волны в одном направлении. Тепло попадает только на тот объект, на который направлено излучение — например, на пластину или подложку. Все остальное остается прохладным, поскольку находится вне зоны действия излучения. Это значит, что можно больше не использовать сложные системы охлаждения на поверхности оборудования.
Применение на практике
В зависимости от ваших потребностей можно использовать лампы с коротковолновым или средневолновым излучением, чтобы направить тепло именно туда, где это необходимо. Если сочетать их с контроллером PID, можно достичь очень точного контроля температуры.
Самое лучшее заключается в том, что температура поверхности корпуса сильно снижается. Таким образом, не нужно бороться с постоянным нагревом, что делает управление высокотемпературными камерами сложной задачей.
Недостатки (ведь они всегда есть)
Направленное нагревание требует высокой точности. Если объект находится всего в нескольких миллиметрах от оптимального положения, на подложке появятся холодные зоны. Необходимо правильно расположить отражатели, чтобы обеспечить равномерное распределение тепла.
Еще один нюанс — мощность ламп. Высокомощные инфракрасные лампы потребляют много энергии. Убедитесь, что электросистема может справиться с этим пиковым нагрузкой, иначе вам придется постоянно перезапускать защитные устройства.
Но как только все настроено правильно, стенки оборудования больше не будут выполнять функцию огромных радиаторов. Вы сможете сэкономить на электроэнергии, а ваши сотрудники смогут работать рядом с оборудованием без опасений получить ожоги.