บนพื้นโรงงาน
การอบอ่อนและการอบแข็งคือจุดที่คุณกำหนดงบประมาณความร้อนที่ทำให้การควบคุมขนาดที่สำคัญประสบความสำเร็จหรือไม่สำเร็จ หากอุณหภูมิเปลี่ยนไปแม้เพียง 1.5°C ทั่วทั้งเวเฟอร์ หน้าต่างการถ่ายภาพของคุณก็เริ่มหายไป เราได้สร้างแผงฮีตเตอร์เซรามิกอินฟราเรดเพื่อกำจัดความไม่แน่นอนนี้ออกจากสมการ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค มันคืออินฟราเรดคลื่นสั้นที่ทำงานผ่านเมทริกซ์เซรามิกที่หนาแน่น ดังนั้นความร้อนจะไปยังจุดที่คุณต้องการได้อย่างรวดเร็ว คุณจะได้ความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ทั่วพื้นที่ที่ใช้งาน และความสามารถในการทำซ้ำยังคงแน่นหนาแม้เมื่อจุดตั้งค่าเปลี่ยนไป พื้นผิวทนทานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100—ไม่มีอนุภาค ไม่มีการปล่อยก๊าซ ไม่มีการลอก พฤติกรรมการตอบสนองรวดเร็วพอที่จะติดตามสูตรที่เป็นพลศาสตร์โดยไม่เกิดการเกินขีด ดังนั้นงบประมาณความร้อนจึงคงที่
ทำไมมันจึงทนทานในกระบวนการฟิล์มอิมเมจ ฟิล์มอิมเมจไม่ชอบจุดร้อนและขอบเย็น แผงเซรามิกให้ความร้อนที่สม่ำเสมอ ดังนั้นฟิล์มจึงแข็งตัวอย่างสม่ำเสมอ ซึ่งหมายถึงการลดการตั้งอยู่และลดความหยาบของขอบเส้น ในทางปฏิบัติ คุณจะเห็นผลผลิตสูงขึ้นและจำนวนล็อตที่ต้องทำใหม่ลดลง ระบบทำงานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันด้วยการผลิตที่เสถียร ซึ่งช่วยลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดและขยายระยะเวลาการบำรุงรักษา นอกจากนี้ยังมีประสิทธิภาพ—ให้ความร้อนตามความต้องการ มีการสูญเสียในโหมดสแตนด์บายต่ำ—ดังนั้นคุณจะใช้พลังงานน้อยลงโดยไม่ลดทอนประสิทธิภาพ
สิ่งที่คุณต้องทำให้ถูกต้องในการติดตั้ง การติดตั้งต้องแม่นยำ: ความเรียบทางกลและการแยกความร้อนจากโมดูลข้างเคียง หากจุดเชื่อมต่อไม่ถูกต้อง คุณจะอบด้วยความชันของอุณหภูมิ วางแผนสำหรับอุปกรณ์เสริมที่เข้ากันได้ และตรวจสอบสองครั้งว่าเซ็นเซอร์อุณหภูมิอยู่ที่ไหนในระหว่างการรวมตัว เมื่อมันถูกจัดตำแหน่งแล้ว แผงจะทำงานได้ดี แต่จุดเชื่อมต่อทางกลคือจุดที่คุณจะได้หรือไม่ก็จะได้สเปคความร้อนอย่างเต็มที่หรือจะต้องต่อสู้กับมันในภายหลัง