Litografideki süreçlerde bilindiği gibi, pişirme sıcaklığında yarım derecelik bir sapma bile olursa, fotoresistin yapısı bozulmaya başlar. Hat...

Litografi sürecinde işler böyle yürüyor. Yarım derece kadar bile olan bir değişiklik, kritik boyutları nanometreler bazında etkileyebilir. Bu durumu...