На виробничій лінії навіть незначна зміна температури у розмірі 1°C під час процедури „м’якого випалювання“ може зруйнувати цілий комплект пластин. Тож ми створили спеціальні інфрачервоні нагрівачі, які допомагають уникнути таких ризиків. Вони забезпечують точний контроль температури на рівні кожної окремої пластини під час її сушіння, обробки фотолаку, загартовування та подальшого сушіння після чищення.
Що є важливим?
Основою є використання ближнього інфрачервоного випромінювання з унікальним спектральним профілем, що дозволяє пряме нагрівання об’єкта без використання рідини та без ризику забруднення. Єдність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C, а повторюваність результатів – ±0,5°C. Час реакції нагрівача становить менше двох секунд, тож контроль температури залишається точним. Для досягнення рівня чистоти класу 1–100 використовуються кварцові/керамічні матеріали, матеріали без виділення газів, а також конструкція, яка запобігає появі частинок. Ці пристрої призначені для цілодобової роботи; тривалість їх служби становить десятки тисяч годин. Крім того, є можливість заміни модулів для скорочення часу простою обладнання.
У процесі літографії процедури „м’якого“ та „жорсткого випалювання“ відіграють ключову роль у контролі критичних розмірів. Наші нагрівачі забезпечують точний контроль температури фотолаку, що зменшує варіацію ширини ліній та підвищує якість продукції. Під час сушіння пластин та після чищення швидке та однорідне нагрівання дозволяє уникнути появи слідів та водяних плям на поверхні пластини – без необхідності прямого контакту.
У процесі упаковки ця сама технологія забезпечує однорідні умови загартовування матеріалів, що скорочує час виконання процесу та підтримує якість з’єднань. Також знижується витрата енергії, оскільки тепло потрапляє безпосередньо у процес, а не в велику камеру.
Важливо зазначити, що ці нагрівачі розроблені спеціально під ваше обладнання. Геометрія камери, тип кріплення та розташування датчиків мають велике значення. Налаштування пристрою відбувається швидко. Для коректної роботи потрібен чистий та сухий повітряний потік. Також важливо підібрати спектральні параметри нагрівача відповідно до властивостей вашого матеріалу. Ми надаємо необхідні дані для налаштування емісії та відбивності нагрівача для кожного процесу.