На літографічному майданчику все відбувається так. Відхилення температури випікання на 0,1°C зсуває профіль фоторезисту на нанометри, і це зсув відображається в таблиці виходу. Ми розробили наші нагрівачі для лазерних діодів напівпровідників, щоб утримувати теплову лінію, коли вікно процесу вимірюється в однозначних нанометрах.
Що важливо під капотом Ми використовуємо нагрів лазерними діодами в ближньому інфрачервоному діапазоні (NIR) з управлінням у замкнутому контурі, а однорідність по активній зоні залишається в межах ±0,1°C. Повторюваність тримається на рівні ±0,2°C від пострілу до пострілу, тому профілі м’якого та твердого випікання не відхиляються від першої партії до сотої. Платформа працює чисто — без частинок у класі 1–100 — і залишається активною 24/7 без непередбачуваного простою. Відповідь швидка, тому термічне запізнення між етапами рецепту мінімальне, і ви не витрачаєте додатковий тепловий бюджет на чутливі плівки. Чому це важливо в обробці фоторезисту Енергія випікання — це те, що керує контролем CD, кутом бокових стінок і щільністю дефектів. Завдяки цим нагрівачам підкладка знаходиться на цільовій точці з дуже малим перевищенням, тому ви отримуєте більш тісні розподіли CD та менше партій для доопрацювання. Стабільність зменшує відходи та доопрацювання, скорочує час зміни та підтримує споживання енергії відповідно до кривої процесу. Ви отримуєте більш передбачуваний вихід у тих же рамках, не переслідуючи температурні коливання після зміщення інструментів. Ось що очікувати під час установки Ці нагрівачі розроблені для установки в існуючі доріжки покриття/випікання, але вам потрібні співвіднесені інтерфейси та калібровані датчики, щоб утримувати цю однорідність ±0,1°C. Налагодження швидке — вирівняйте оптичний шлях та налаштуйте контур управління для вашого стеку підкладок. Після цього це рутинні перевірки: перевірте калібрування датчиків і підтримуйте оптику в чистоті, так само як і в будь-який інший день у чистій кімнаті.