Коли необхідно висушувати пластини сенсорів MEMS після хімічної обробки, потрібна теплота – і чим швидше, тим краще. Але є одна проблема: якщо працюєте з легкозаймистими чи вибухонебезпечними парами, стандартна інфрачервона лампа є не лише засобом для нагрівання, а й джерелом ризику. Ніхто не хоче, щоб у лабораторії сталась пожежа. Тож ми використовуємо спеціалізовану систему упакування, яка поміщає елемент нагріву в безпечну зону, повністю ізольовану від навколишнього повітря.
Запобігання потраплянню шкідливих речовин
Ми обгортаємо наші інфрачервоні кварцові трубки міцним, хімічно стійким матеріалом, виготовленим з сапфіру чи високоякісного кварцу. Це своєрідний захист, який не дозволяє летким органічним сполукам потрапити на гарячі нитки. Навіть у разі пошкодження упакування газ потрапляє у контрольовану порожнину, а не на активний елемент. Щоб уникнути витоків на точках з’єднання, ми використовуємо методи спаяння при високих температурах чи спеціальні ущільнювачі зі скла та металу. Усе це робиться для забезпечення безпеки.
Контроль температури
Проблема полягає у тому, що інфрачервоні лампи з високою інтенсивністю стають надзвичайно гарячими. Якщо зовнішня оболонка стане занадто гарячою, це може спричинити загоряння навколишніх парів. Щоб уникнути цього, ми часто використовуємо подвійну оболонку, наповнену інертним газом чи вакуумом. Це дозволяє інфрачервоному випромінюванню проходити крізь оболонку для нагрівання пластини, але водночас підтримує температуру зовнішньої поверхні під контролем. Але потрібно знайти правильний баланс: якщо ізоляція буде занадто щільною, лампа стане занадто гарячою всередині. Якщо ж потужність лампи буде занадто високою, нитки можуть згоріти значно раніше, ніж слід.
Встановлення
Ми розробляємо такі нагрівачі, які можуть працювати без перерв протягом тривалого часу. Навіть кріплення виготовляються з матеріалів, які не створюють іскр під час встановлення. Останнє – перевірте електропроводку. Вона повинна витримувати фактичне теплове навантаження. Якщо це не так, ізоляція буде пошкоджена, що призведе до короткого замикання.