На літографічному майданчику все відбувається так. Відхилення температури випікання на 0,1°C зсуває профіль фоторезисту на нанометри, і це зсув...

На виробничій ділянці тепловий профіль камери розпилення — це не те, що можна налаштувати один раз і забути. Він безпосередньо впливає на розподіл...