На заводі процес сушіння захисного шару не є окремим кроком у виробничому процесі – це своєрідний „термічний бар’єр“, який забезпечує збереження структури поверхні після процедури літографії. Якщо параметри нагрівання змінюються, то чіткість контурів на поверхні погіршується, а кількість необхідних корекцій зростає. Ми створили цю систему для того, щоб підтримувати параметри нагрівання саме такими, як це передбачено у технологічній карті, для всього пластинчастого матеріалу.
Важливим є контроль параметрів нагрівання протягом усього процесу виробництва. Наш модуль забезпечує точність контролю до ±0,1°C для всієї площі пластинчастого матеріалу, за допомогою емітерів, оптимізованих для швидкої та безконтактної передачі енергії. Камера придатна для використання в умовах чистих приміщень класу від 1 до 100; вона має ламінарний потік повітря та не створює жодних частинок під час нагрівання.
Повторюваність результатів є високою: відхилення становить менше 0,2°C для 1 000 пластинчастих матеріалів. Крім того, існують можливості для регулювання параметрів нагрівання для різних типів обробки. Це забезпечує стабільний контроль критичних розмірів під час подальших процедур обробки.
Система ефективно працює через постійний контроль параметрів нагрівання. Можна працювати 24/7 з мінімумом перерв. Термін служби емітерів перевищує 5 000 годин, а система самоконтролюється з кожною партою продукції. Витрати енергії є нижчими, ніж у традиційних нагрівальних пристроях, а час обробки скорочується без зниження якості продукції.
Кілька практичних порад: системі потрібне спеціальне живлення напругою 208–240 В та належна система відведення газів. Її можна легко інтегрувати у більшість виробничих установок, але її неможливо встановити у старі печі без механічної модифікації. Спочатку необхідно планувати всі необхідні умови для роботи системи – тоді все буде працювати належним чином.