Лампа інфрачервоного світла для висушування фоторезисту
На лініях літографії все відбувається так: навіть незначна зміна температури у півградуса може призвести до зміни критичних розмірів на кілька...
Підігрівач для підтримки зняття фоторезисту
Ви знаєте, що відбувається на приміщенні для обробки пластин: камера для зняття фоторезисту припиняє роботу, бо підігрівач підтримки відхилився на...