На лініях літографії все відбувається так: навіть незначна зміна температури у півградуса може призвести до зміни критичних розмірів на кілька нанометрів. Це проявляється відразу – утворення шарів на поверхні пластини, її деформація тощо. У таких випадках залишається лише виробництво бракованих пластин. Ми створили інфрачервоні лампи для висушування фотолементу, які забезпечують стабільність температури протягом усього процесу, навіть під час перерв у роботі.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо інфрачервоні випромінювачі з короткохвильовим спектром та кварцовим корпусом для швидкої реакції. Тепло потрапляє безпосередньо в шар фотолементу, не спричиняючи деформації самої пластини. Це забезпечує однорідність температури на рівні ±0,1°C, а також стабільність параметрів процесу. Система залишається чистою – не утворюється жодних частинок, що дозволяє використовувати її в приміщеннях класу чистоти 1–100. Крім того, система підключається до стандартних інтерфейсів SEMI. Ефективність роботи системи залишається стабільною протягом 5,000+ годин, зі зниженням інтенсивності світла менше ніж на 5%.
Обробка фотолементу полягає у контролі температурного режиму. Під час процесу висушування температура має швидко досягати необхідного рівня, потім стабілізуватися, а потім знову знижуватися. Наші лампи скорочують час висушування та швидко стабілізують температуру, що дозволяє збільшити продуктивність без необхідності використання більшої кількості енергії.
Той самий температурний профіль повторюється в кожній партії продукції. Саме ця передбачуваність дозволяє контролювати розміри пластин та забезпечувати належний рівень якості. На лініях, які працюють 24/7, це дозволяє уникнути непланових перерв у роботі та забезпечує справний функціонування обладнання.
Є кілька моментів, які потрібно враховувати. Встановлення обладнання є простим, але необхідно точно контролювати положення лампи відносно пластини та відстань між лампою та підложкою. Якщо це не контролюється, однорідність температури порушується.
Поверхня лампи нагрівається, тож необхідний тепловий ізоляційний захист. Крім того, необхідно підбирати спектр випромінювання лампи відповідно до спектру поглинання фотолементу – різні фотолементи вимагають різних інфрачервоних профілів, тож ми налаштовуємо систему відповідно.