ویفر کی سطح پر، نرم بیکنگ یا سخت بیکنگ کے دوران آدھے ڈگری کا فرق بھی اہم پیمائشوں میں تبدیلی کا سبب بن سکتا ہے؛ اس سے ایٹچنگ کے بعد ناخالصیاں باقی رہ جاتی ہیں، اور پروڈکشن کی کارکردگی متاثر ہوتی ہے۔ ہم نے ویفر ٹولز کے لئے انفراریڈ لیمپ ساکٹ تیار کیا ہے، تاکہ حرارت کو مناسب سطح پر رکھا جاسکے، چاہے یہ عمل بار بار دہرایا جائے۔
اس ساکٹ کے ساتھ NIR کوارٹز لیمپ استعمال کئے گئے ہیں، جو حرارت کو براہِ راست ویفر تک پہنچاتے ہیں۔ بیکنگ کے دوران درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے، تاکہ فوٹو ریزسٹ کو یکساں درجہ حرارت ملتا رہے۔
یہ ساکٹ کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کو پورا کرتا ہے؛ کیوں کہ اس میں ذرات کو قابو میں رکھا جاتا ہے، گرم علاقوں میں کوئی گیس خارج نہیں ہوتی، کنکشن بند رہتے ہیں، اور سیرامک باڈی بھی ٹوٹتا نہیں۔ الیکٹریکل انٹرفیس اعلیٰ کرنٹ اور کم کنٹیکٹ رزسٹنس کے لئے تیار کیا گیا ہے، تاکہ لیمپ کی طاقت 24/7 کے استعمال کے باوجود بھی مستحکم رہے۔
آؤٹ پٹ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک مستحکم رہتا ہے، اور اس میں 5% سے بھی کم کمی واقع ہوتی ہے۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ لیتھوگرافی اور اس کے بعد کے مراحل میں حرارتی صورتحال میں کوئی تبدیلی نہیں آتی۔
لیتھوگرافی میں، یہ ساکٹ نرم بیکنگ کے دوران مناسب حرارت فراہم کرتا ہے؛ تاکہ حلال عناصر ریزسٹ کو نقصان نہ پہنچائیں۔ سخت بیکنگ کے دوران، یہ مناسب حرارت فراہم کرتا ہے، جس سے ریزسٹ کی چپکنے کی صلاحیت بہتر ہوتی ہے، اور لائنوں کی سطح بہتر ہوتی ہے۔
ویفر سے ویفر تک یکسانیت کی وجہ سے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، فضول مال کم ہوتا ہے، اور کام کا وقت بھی منصوبہ بند کیا جاسکتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے؛ کیوں کہ لیمپ صرف ضرورت کے وقت ہی گرم ہوتا ہے، اور اسٹینڈ بائی حالت میں اس کی کھپت بہت کم ہوتی ہے۔
چند عملی نکات: اس ساکٹ کے لئے مناسب لیمپ اور ٹول کی ضرورت ہے؛ لہذا انسٹال کرنے سے پہلے وولٹیج، کرنٹ اور مکانیکی فاصلے کی جانچ ضرور کریں۔
بہت پتلی ریزسٹ لیئر والے حالات میں، حرارتی صورتحال بہت اہم ہوتی ہے؛ چھوٹی سی غلطی بھی حرارتی بہاؤ میں تبدیلی کا سبب بن سکتی ہے۔ زیادہ نمی والے ماحول میں، کنکشنوں کی بحالی اور حرارتی رابطے کو برقرار رکھنے کے لئے باقاعدگی سے چیک کرنا ضروری ہے۔